第44回応用物理学関係連合講演会

シンポジウム


主催:応用物理学会
日時:平成9年3月30日 13:00〜16:45
場所:日本大学船橋校舎


「半導体ハードエレクトロニクスの課題−SiC半導体の可能性」

1 Introductory Talk:ハードエレクトロニクス(5分)

吉田貞史(電総合研)

2 半導体SiCの可能性(25分)

松波弘之(京大工院)

3 カーエレクトロニクスからの期待(20分)

木下繁則(富士電機総研)

4 電力分野からの期待(20分)

泉 邦和(電力中研横須賀研)

5 通信用エレクトロニクスからの期待(20分)

太田順道(松下電子電総研)

-------- 休 憩 14:30 〜 14:45 ----------


6 大口径SiC単結晶ウエハの開発(25分)

大谷昇、勝野正和、高橋淳、八代弘克、金谷正敏、篠山誠二(新日鐵先端研)

7 Si基板上への3C-SiCのエピタキシャル成長(20分)

西野茂弘(京都工繊大工芸)

8 金属/SiC接合特性(25分)

梶山健二、中田俊武(イオン工研)

9 イオン注入技術の現状(25分)

大野俊之(日立日立研)

10 SiC-MOSFETの現状と課題(25分)

恩田正一、原邦彦(デンソー)