■第129回研究会(2008.7)■
結晶工学が開く次世代MEMS/NEMS技術
平成20年7月2日
キャンパスプラザ京都
第2講義室 案内
 
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【基調講演】 MEMSのサイエンス
 —単結晶シリコンのエッチング特性,機械特性の新知見—
佐藤 一雄 (名大) 1
NLDプラズマを用いたSiドライエッチング技術 森川 泰宏 (アルバック) 11
単結晶シリコンMEMS デバイスの破壊と疲労 土屋 智由 (京大) 23
半導体へテロ構造を用いたマイクロ・ナノメカニカル素子 山口 浩司 (NTT 物性科学基礎研) 31
MEMS応用を目指した単結晶SiC加工技術 須田 淳 (京大) 39
MEMS技術を用いたCNTの合成、集積化、センサ応用 河野 剛士 (豊橋技科大) 45
圧電薄膜によるMEMSデバイス応用 神野 伊策 (京大) 53


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