■第140回研究会(2014.4)■
酸化物薄膜デバイスの新展開
—ITO, IGZO,新材料,さらなる発展に向けて—
平成26年4月18日
産総研臨海副都心センター別館
 (バイオ・IT融合研究棟)
案内
 
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【基調講演】
酸化物薄膜の特徴:物性の把握と設計・制御への展望
山本 哲也 (高知工科大学) 1
ZnO系透明導電膜とその太陽電池用透明電極への応用 南 内嗣 (金沢工業大学) 11
高い誘電率を有する透明導電体:酸化物から窒化物へ 山田 直臣 (中部大学) 21
太陽電池向け透明導電膜  鯉田 崇
(産業技術総合研究所)
29
透明導電膜:
  多結晶ITOとアモルファスIZOの薄膜成長機構
重里 有三 (青山学院大学) 37
酸化物半導体TFTの進展  雲見 日出也 (東京工業大学) 43


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