■第67回研究会(1975.12)■
エッチング
昭和50年12月19日
 
 


蝕像と結晶の対称性 芦田 佐吉 (日立中研)
金属と酸化物の化学エッチング 楢岡 清威 (日立武蔵工場)
半導体デバイス製造におけるプラズマ加工 阿部 東彦、小宮 啓義 (三菱電機中研)、
西岡 久作 (三菱電機北伊丹)
III-V化合物結晶の高精度エッチング技術とその応用 梅鉢 昭太郎 (松下電子中研)


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