■第94回研究会(1990.5)■
結晶工学における励起プロセス
平成2年5月25日
 
 


化合物半導体のプラズマ励起エピタキシ 針生 尚 (東北大工)
GaAsMBE成長におけるECRプラズマ励起効果 名西 之、近藤 直人、柴田 知尋、山本 知生、
藤本 正友 (NTT光エレ研)
電子線励起による結晶成長の可能性 石橋 晃 (ソニー中研)
GaAs光励起MOCVDの表面反応 真下 正夫 (東芝総研)
ZnSe光励起MOCVD成長 藤田 静雄、藤田 茂夫 (京大工)
光励起ALEによるGaAs系の成長 青柳 克信 (理研)


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