■第97回研究会(1992.1)■
大口径シリコン基板の結晶工学
平成4年1月29日
 
 


デバイスからみたシリコンの将来 名取 研二 (東芝ULSl研)
シリコンの結晶欠陥 角野 浩二 (東北大金研)
シリコンの大口径結晶製造と課題 篠山 誠二、江阪 久雄、田中 正博 (新日鉄エレ研)
シリコン中の不純物の挙動 —理論と実験— 早藤 貴範 (ソニー中央研)
陽電子消滅によるシリコン結晶中の
空孔型欠陥および酸素の挙動の評価
谷川 庄一郎 (筑波大物質工学系)
シリコン結晶の現状とGビット時代への課題 津屋 英樹 (日本電気)


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