2020.3.31
プラズマエレクトロニクス分科会会員の皆様2018-2019年度分科会幹事長
名城大学 平松 美根男中止になりました第67回応用物理学会春季学術講演会（東京工業大学大岡山キャンパス）の会期中に開催予定であった2019年度第3回プラズマエレクトロニクス分科会幹事会・分科会インフォーマルミーティングにて配布予定の資料を纏めました。ご意見・ご質問がございましたら、平松または節原新幹事長にお知らせ下さい。
よろしくお願いします。
開催日時： 2019年3月10日(日) 11：45 〜 13：15議題：
開催場所： 東京工業大学大岡山キャンパス 本館B1F M103
1. 第18回プラズマエレクトロニクス賞選考結果報告（資料1）（平松）
受賞論文（2件）、授賞式は秋季学術講演会（同志社大学）にて行う予定
・Insights into different etching properties of continuous wave and atomic layer etching processes for SiO2 and Si3N4 films using voxel-slab mode
J. Vac. Sci. Technol. A 37, 051004 (2019)
久保井信行、辰巳哲也、小町 潤、山川真弥（ソニーSS）
・Formation mechanism of sidewall striation in high-aspect-ratio hole etching
Jpn. J. Appl. Phys. 58, SEEB02 (2019)
大村光広、橋本惇一、足立昂拓、近藤祐介、石川勝朗、阿部淳子、酒井伊都子、林 久貴（キオクシア）、関根 誠、堀 勝（名古屋大学）
2. 春季および秋季学術講演会における分科会の企画について（資料2）（古閑）
・ 春季学術講演会（上智大学）シンポジウム・チュートリアルなどの状況
講演会は中止になりましたが、予稿集が公開され、下記の分科会企画は成立
・チュートリアル
製造業におけるAI技術適用と機械学習の基礎（守屋 剛、狐塚正樹、東京エレクトロン）
・プラズマエレクトロニクス分科内招待講演
バーチャルメトロロジー技術を駆使した電子デバイスのスマートマニュファクチャリング（今井伸一、日立ハイテクソリューションズ） ・シンポジウム
「プラズマ誘起生体反応の機序解明最前線〜何が何処まで解ってきたか〜」（全7件）
・コードシェアセッション
「8.3プラズマナノテクノロジー」、「9.2ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート」、「13.6ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイス」のコードシェアセッション （全13件）
・ 2020年度秋季学術講演会（同志社大学）におけるシンポジウム企画など
中止になった春季講演会の企画（分科内招待講演ならびにシンポジウム）を、二重投稿にならないようアレンジして再提案することで調整3. 第32,33回プラズマ新領域研究会報告（資料3）（古閑）
・第32回テーマ：「物理 化学混成系プラズマにおける情報系機能発現 ~プラズマ反応場をネットワーク科学として捉える~」
共催：東北大学電気通信研究所 共同プロジェクト研究 プロジェクト研究会
日時：2019年9月24日、25日
会場：東北大学大学院工学研究科
参加人数:52 名
担当幹事:古閑一憲(九州大)
・第33回テーマ:非平衡プラズマによる機能性窒素の生成と応用
日時:2020年2月21日
場所:東京大学 本郷キャンパス
参加人数:23 人
担当幹事:伊藤剛仁(東京大)
4. プラズマエレクトロニクス講習会報告（資料4）（友久）
第30回プラズマエレクトロニクス講習会
日時:2019年11月12日(火)9:15-18:45
場所:グランパークカンファレンス
参加人数:64名
プログラム：
反応性スパッタリングの基礎と応用展開（重里有三、青山学院大）
プラズマの基礎と計測技術（稲田優貴、埼玉大）
非平衡プラズマ生成制御とプロセス（節原裕一、大阪大）
産業応用に向けたプラズマ装置開発の現状（登尾一幸、魁半導体）
プラズマエッチングにおけるプラズマダメージ制御の最前線（深沢正永、ソニーSS）
5. 会報について（資料5）（兒玉）
プラズマエレクトロニクス分科会会報No.72（2020年6月20日発刊予定）に向けて目次の提案・順次依頼中6. 2019年度 会計報告（資料6）（平松）
・関係者の御尽力により、プラズマプロセシング研究会（高知）および第30回プラズマエレクトロニクス講習会においてともに100万円を越える当期経常増額となりました。段階的に事務経費の負担が増えてきますが、当分科会は健全な会計を維持できています。
・ICPIG34/ICRP10に当分科会から300万円を負担していますが、参加者収入が想定を上回って大きな黒字となり、ICRP 組織委員会から当分科会に協賛金収益として324万円の入金がありました。これらは、ICPIG学生旅費支援基金としてプラズマエレクトロニクス分科会に関わりのある国際学会への学生旅費補助に使途を限定することとします。
7. ICPIG34/ICRP10開催報告（佐々木）
XXXIV ICPIG & ICRP-10
主催：10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10) International Organizing Committee
会期：2019年7月14日-19日
会場：札幌市教育文化会館
発表論文数：557件(国内221件、海外336件)
参加者数：515名(国内239名、海外276名)
8. 2020年度分科会幹事について（資料7）
昨年末に選挙を実施し、幹事長ならびに15名の幹事（任期：2020-2021年度）が承認されました
節原 裕一 大阪大学（幹事長）
古閑 一憲 九州大学
栗原 一彰 キオクシア
明石 治朗 防衛大学校
阿部 知央 キオクシア
市來 龍大 大分大学
岩瀬 拓 日立製作所 （川那辺 哲雄、事情により交代）
梅澤 義弘 東京エレクトロン宮城
大久保 雄司 大阪大学
岡田 健 東北大学
金 載浩 産業技術総合研究所
桑畑 周司 東海大学
白岩 利章 ソニーセミコンダクタソリューションズ
神野 雅文 愛媛大学
中村 圭二 中部大学
松井 信 静岡大学
9. プラエレ分科会刊行物の著作権について（資料8,9）
昨年末の12月12日の応用物理学会理事会にて著作権取扱規程が改正され、分科会・支部等では、著作財産権の譲渡のほかに、利用許諾を得ることで刊行物に掲載ができるようになりました。分科会会報、プラズマエレクトロニクス講習会テキスト、インキュベーションホールテキスト、プラズマプロセシング研究会や反応性プラズマ国際会議のプロシーディングス等はどちらを選択するのか、個々の方針については2020年度の幹事会で議論していただきます。