春期・秋期講演会における分科会企画の講演

分科内・招待講演

●第1回(2008秋)
後藤 俊夫(中部大,元 名古屋大)(プラズマ診断)
岡崎 幸子(上智大名誉)(大気圧プラズマ)

●第2回(2009春)
真壁 利明(慶応大)低温プラズマとそのプロセスモデリングの萌芽期を生きて
吉田 豊信(東大)プラズマ材料技術イノベーションへの期待

●第3回(2009秋)
橘 邦英 (愛媛大,元京大)構造を有するプラズマと構造を有する媒質中でのプラズマ現象が創成する新しい科学技術
渡辺 征夫(九電専,元九大)微粒子プラズマ科学発展への期待

●第4回(2010春)
佐藤 徳芳(東北大名誉)各種プラズマ応用に必要なプラズマ制御
松田 彰久(阪大)薄膜シリコン系材料におけるプラズマプロセスの理解と制御

●第5回(2010秋)
福政 修 (宇部高専,元山口大)NBI用負イオン源開発を目指したプラズマの生成と制御
秋山 秀典(熊本大)バイオエレクトリクス

●第6回 東日本大震災で講演中止

●第7回(2011秋)2011春で企画された講演を2011秋にスライド
菅井 秀郎(中部大,元名古屋大)マイクロ波を用いた新しいプラズマ生成・診断技術
神藤 正士(静岡大名誉)光源用マイクロ波放電の生成

●第8回(2012春)
河野 明廣(名古屋大学)レーザーや光を用いたプロセスプラズマのその場計測技術
畠山 力三(東北大学)ナノカーボン,ナノスコピックプラズマプロセシング

●第9回(2012秋)
葛谷 昌之(松山大学)有機プラズマ化学の発展の轍
鯉沼 秀臣(NIMS、東大)エネルギー材料開発におけるプラズマ科学の過去と未来

●第10回(2013春)
河合 良信(九大) プラズマプロセス用大面積プラズマ源の開発
小田 哲治(東大) 大気圧プラズマの環境改善技術への応用

●第11回(2013秋)
藤山 寛(長崎大) プラズマ物理の産業応用
小駒 益弘(上智大) 大気圧プラズマのはじめ

●第12回(2014春)
進藤 春雄(東海大) 新しいプラズマ源と診断法の研究
斧 高一(京都大) プラズマ微細加工プロセスのモデリングと体系化: シリコンからメタル・高誘電体材料まで

●第13回(2014秋)
林 康明(京都工繊大) ナノ・微粒子材料のプラズマプロセスとその場観測
永津 雅章(静岡大) プラズマ科学技術の医療・バイオ応用に関する研究に携わって

●第14回(2015春)
石井 彰三(東工大名誉) プラズマを学び科学・技術の最先端に挑戦する

●第15回(2015秋)
水野 彰(豊橋技科大) 低温プラズマを用いるPM2.5・ガス状汚染物質対策
辰巳 哲也(ソニー) プラズマプロセスの定量的な制御に向けて

●第16回(2016春)
大森 達夫(三菱電機) SiCパワーデバイス研究開発の現場と将来展望

●第17回(2016秋)
木下 啓藏(PETRA) ますます拡がる材料・デバイスとプラズマプロセス

●第18回(2017春)
林 俊雄(名古屋大学) 計算科学を用いたプロセスプラズマ中における気相・表面反応解析


プラズマエレクトロニクス分科会トップページへ