第18回プラズマエレクトロニクス講習会 案内

「プラズマプロセスの最前線と展望」

‐プラズマ解析技術〜2035年のプラズマ技術まで‐

◆主　催：応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

◆日　時：2007年11月1日(木)‐2日(金)

◆場　所：東京工業大学（大岡山キャンパス）百年記念館 ３F フェライト会議室

〒152-8552　東京都目黒区大岡山2−12−1

TEL: 03-5734-2098 (代表)

http://www.titech.ac.jp/home-j.html（←ページ右上の”交通案内”参照）

◆趣　旨

プラズマの基礎から応用までの幅広い講義を行います。具体的には，最先端の量産現場で必要とされる管理・モニタリング技術についての概論とその基礎となる測定手法，プラズマプロセスモデリングと将来技術の最前線，プラズマ技術の最新応用を企画しました。さらに，微細化の極限を迎えつつある現在から今後30年を見据えたプラズマ技術に関する特別講演を行い，学会の枠にとらわれず受講者の皆様と一緒になって議論していただきます。プラズマの基礎を勉強したい学生からプラズマ技術の最新応用に関心のある技術者や研究者を対象として，本講習会を企画しました。

プログラム

【11月1日（木）10:00〜18:00】

�@量産応用のためのプラズマ生成とモニタリング技術（10：10−15：30）

1．量産応用最先端プラズマ解析技術（10：10−11：10）

美舩章人（Spansion Japan）

２．プラズマ生成と電子状態のIn-situ計測（11：10−12：10）

中村圭二（中部大学）

＜昼食＞

３．光学手法を用いたプラズマ計測（13：30−14：30）

中野俊樹（防衛大学）

４．In-situ パーティクル計測（14：30−15：30）

島田 学（広島大学）

＜休憩15分＞

�Aプラズマエレクトロニクス分科会特別講演（15：45−16：45）

「２０３５年のプラズマ技術」

関根　誠（名古屋大学）

＜休憩15分＞

�Bショートプレゼンテーション（17：00−18：00）

※詳細は適宜ホームページに掲載していきます。

【11月2日（金）10:00〜16:45】

�Cプラズマプロセスモデリングと将来技術の最前線（10：10−14：30）

１．シリコン加工モデリング（10：10−11：10）

江利口浩二（京都大学）

２．絶縁膜加工モデリング（11：10−12：10）

八木澤　卓（慶応大学）

＜昼食＞

３．実用シミュレーション技術（13：30−14：30）

田中正明（ペガサスソフトウエア）

＜休憩15分＞

�Dプラズマ技術の最新の応用（14：45−16：45）

１．MEMS応用プラズマ技術（14：45−15：45）

森川泰宏（ULVAC）

２．バイオチップ開発のためのプラズマアクティベーション（15：45−16：45）

齋藤永宏（名古屋大学）

◆参加費（テキスト代を含む）

	一　般	学　生
応用物理学会＆ プラズマエレクトロニクス分科会個人会員	30,000 円	8,000 円
応用物理学会個人会員	33,000 円	11,000 円
プラズマエレクトロニクス分科会のみの個人会員	42,000 円	15,000 円
協賛学協会，応物法人賛助会員	42,000 円	15,000 円
その他	45,000 円	18,000 円

※非会員の方でも参加申込時にPE分科会（年会費3,000円）に入会いただければ，会員扱いとさせて頂きます。

◆参加申込

申込用紙の所定欄に記入して，できるだけEmail添付でお申し込みお願いします。

ダウンロード（右クリック、”対象をファイルに保存”）

定　　員：100名

申込締切：10月26日（金）（但し，余裕のある場合には期日後も受付けます）

参加費振込先：

三井住友銀行　本店営業部　普通預金　口座番号　３３３９８０８

(社) 応用物理学会　プラズマエレクトロニクス分科会

※参加費の振込みにはできるだけ個人名（参加者名）を記載してください。手続きの都合上，10月31日（水）までに参加費の振込みを完了して頂けますよう，ご協力お願い申し上げます。

申込み・問合せ：

〒158-8557 東京都世田谷区玉堤 1-28-1

武蔵工業大学　大学院工学研究科・工学部　生体医工学科 知覚システム工学研究室

平田　孝道 宛

TEL: 03-5707-2183，FAX: 03-5707-2183

hirata@dev.ec.musashi-tech.ac.jp（又はhirata@bme.musashi-tech.ac.jp）

以上