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第20回プラズマエレクトロニクス講習会 案内 「プラズマプロセスの基礎と応用」 ‐低圧･大気圧実用プロセシングから先進薄膜･バイオ応用まで‐ |
◆主 催：応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
◆日 時：2009年10月29日(木)‐30日(金)
◆場 所：慶應義塾大学（日吉キャンパス）来往舎 シンポジウムスペース
〒223-8521 神奈川県横浜市港北区日吉4-1-1
TEL: 045-566-1101 (日吉研究支援センター)
http://www.keio.ac.jp/ja/access/hiyoshi.html (キャンパスマップ中10番)
◆趣 旨
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プラズマプロセス技術は、低圧下における微細加工の分野で飛躍的に発展し、近年では大気圧下での表面改質・洗浄に活用されるほか、ナノエレクトロニクス分野や滅菌等の医療分野においても大きく注目される産業基盤技術です。多様化するプラズマプロセスにおいて、プラズマの特性を理解し活用することがより重要になってきております。こうした背景を踏まえて、当分科会では各分野をリードする一流の講師を招き、プラズマプロセスの基礎から応用にわたる講習会を開きます。プラズマの基礎を理解したい初学者からプラズマ技術の最新応用に関心をもつ技術者や研究者の方を対象としました。奮ってご参加ください。 |
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講習会プログラム 【10月29日（木）10:00～17:30】 ①10:10-11:40 プラズマの生成・制御 節原裕一 （大阪大学) ＜昼食＞ ②13:00-14:00 プラズマ計測 -電気的手法を中心として- 中村圭二 （中部大学) ＜休憩15分＞ ③14:15-15:45 プラズマによる薄膜形成技術 宮崎誠一 （広島大学) ＜休憩15分＞ 16:00-17:30 ポスターセッション・懇談会 ※各社製品案内、大学・研究機関の研究開発成果を紹介し、 参加者間の情報交換の場を提供します。(展示費無料) 是非展示いただけますようお願いいたします。(要事前連絡) ポスターサイズ：横110cm×縦165cm以下でご準備願います。 【10月30日（金）10:00～17:30】 ④10:10-11:40 プラズマによるエッチング技術 江利口浩二 （京都大学) ＜昼食＞ ⑤13:00-14:00 プラズマ計測：光学的計測 白谷正治 （九州大学) ＜休憩15分＞ ⑥14:15-15:45 大気圧プラズマの生成と応用 奥村智洋 （パナソニック) ＜休憩15分＞ ⑦16:00-17:30 プラズマの医療・バイオ応用 永津雅章 （静岡大学) |
◆講義シラバス
下記より、ご覧下さい。
ダウンロード（右クリック、”対象をファイルに保存”）
◆参加費（テキスト代を含む）
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一 般 |
学 生 |
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応用物理学会＆ プラズマエレクトロニクス分科会個人会員 |
30,000 円 |
8,000 円 |
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応用物理学会個人会員 |
33,000 円 |
11,000 円 |
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プラズマエレクトロニクス分科会のみの個人会員 |
42,000 円 |
15,000 円 |
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協賛学協会，応物法人賛助会員 |
42,000 円 |
15,000 円 |
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その他 |
45,000 円 |
18,000 円 |
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※非会員の方でも参加申込時にPE分科会（年会費3,000円）に入会いただければ，会員扱いとさせて頂きます。 |
◆参加申込
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申込用紙の所定欄に記入して，できるだけEmail添付でお申し込みお願いします。 ダウンロード（右クリック、”対象をファイルに保存”） 定 員：100名 申込締切：10月16日（金）（但し，余裕のある場合には期日後も受付けます） 参加費振込先： 三井住友銀行 本店営業部 普通預金 口座番号 ３３３９８０８ (社) 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会 ※参加費の振込みにはできるだけ個人名（参加者名）を記載してください。 ※参加費振込期限：10月21日(水) 申込み・問合せ： 〒239-8686 横須賀市走水1-10-20 防衛大学校 電気電子工学科 北嶋 武 TEL: 046-841-3810（内線3336) FAX: 046-844-5903 e-mail: kitajima@nda.ac.jp 以上 |