第22回 プラズマエレクトロニクス講習会
プラズマプロセスの実際
〜 実践的プラズマ計測・制御技術の基礎と体感 〜主催： 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
協賛： 日本物理学会、電気学会、プラズマ・核融合学会、日本化学会、電子情報通信学会、高分子学会、
電気化学会、放電学会、日本真空協会、日本セラミックス協会、表面技術協会 （一部依頼中）
日時： 2011年10月27日（木）、28日（金）
場所： 慶応義塾大学（日吉キャンパス） 来往舎2F 大会議室
〒223-8521 神奈川県横浜市港北区日吉4-1-1
TEL： 045-566-1101 (日吉研究支援センター)
会場へのアクセス： http://www.keio.ac.jp/ja/access/hiyoshi.html
概要／プログラム：
プラズマプロセスは、エレクトロニクス分野の先進デバイス開発の基幹技術であると共に、医療生体応用やエネルギー・環境応用を始めとする幅広い分野でも欠くことのできない基盤技術です。本講習会では、研究開発・製造現場で必要とされるプラズマの生成制御、モニタリング技術の基本について、プラズマエレクトロニクス分科会でご活躍の先生方による講義を行います。また、実践的なプラズマ計測技術を体感できるよう、測定デモなどを通して身に付く技術になる講義を企画しました。最近ホットになっているトピックについても特別テーマを設けております。受講翌日からいつものプラズマが違って見えるはずです。皆様のお申し込みをお待ち申し上げます。※ プログラムの時間割が若干変更になりました。
１0月27日（木） 10：00〜18：30
10:00 - 10:10 分科会幹事長 挨拶 堀 勝（名古屋大学） 10:10 - 11:40 プラズマ計測：電気的計測 中村 圭二（中部大学） 昼食 12:40 - 13:40 プラズマシミュレーション 山田 英明（産業技術総合研究所） 休憩 13:50 - 15:50 プラズマ計測：電気的計測＋実演 佐々木 浩一（北海道大学）、栗原 一彰（東芝） 休憩 16:00 - 17:00 プラズマの生成・制御 八木澤 卓（慶応大学） 移動 17:10 - 18:30 ポスターセッション・懇親会（生協）
１0月28日（金） 10：00〜16：40
10:00 - 11:40 特別テーマ１：大気圧プラズマ＋実演 北野 勝久（大阪大学） 昼食 13:00 - 14:00 特別テーマ２：MEMS 安部 隆（新潟大学） 休憩 14:15 - 15:15 プラズマによるグリーンイノベーション 布村 正太（産業技術総合研究所） 休憩 15:30 - 16:30 プラズマによるライフイノベーション 一木 隆範（東京大学）
16:30 - 16:40 講習会運営幹事挨拶 清水 一男（静岡大学）
参加費： テキスト代を含む。
一般 学生 応物・PE分科会個人会員 30,000円 8,000円 応物個人会員 33,000円 11,000円 分科会のみの個人会員 42,000円 15,000円 協賛学協会・応物法人賛助会員 42,000円 15,000円 その他 45,000円 18,000円 なお、非会員の方でも参加申込時にPE分科会（年会費 3,000円）に入会頂ければ、会員扱いとさせて頂きます。
定員： 100名（定員になり次第締切）
申込締切： 2011年10月20日（木）
（出来る限り事前申込をお願い致します。余裕のある場合は、期日後も受け付けます）申込方法：
下記のをクリックして、登録用フォームにお進みください。
10/25(火)夕刻のサイト停止以降は、直接現地にて申込みをお願いします。
※ 参加証は当日会場にてお渡しいたします。
参加費振込先：
三井住友銀行 本店営業部 普通預金
口座番号 3339808
(社) 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会
参加費振込期限： 2011年10月25日(火)
※ 振込期限後は、現地にて現金でのお支払いをお願いします。
講習会内容問合せ先： 清水 一男
静岡大学 イノベーション共同研究センター
Tel & Fax: 053-478-1443
e-mail: shimizu [at] cjr.shizuoka.ac.jp
参加登録問合せ先： 上村さつき（応物事務局）
TEL: 03-3238-1043
FAX: 03-3221-6245
e-mail: divisions [at] jsap.or.jp※ [at] は @ に読み替えてください。
担当幹事：
木下啓藏（東北大学、NEC）、中西敏雄（東京エレクトロンAT）、 三宅賢稔（日立）、南正樹（ソニー）、
栗原一彰（東芝）、清水一男（静岡大学）、坪井秀夫（アルバック）、池田知弘（三菱電機）、
西澤厚（ルネサスエレクトロニクス）、安部隆（新潟大学）
