講演題目

新しいクラスターイオンとしての帯電液滴クラスターイオンビーム－その原理と有機薄膜材料への応用－

要旨

大気圧下で水をエレクトロスプレーし、生成した帯電水滴を真空中に導入する。この帯電水滴（[(H2O)100,000 + 100H]100+）を10kVで加速して試料を衝撃する。帯電水滴は~12km/sで表面と衝突するので、衝突界面に衝撃波が発生する。これにより、試料（バイオ試料、有機材料、半導体、金属など）の表面が、分子レベルでエッチングされ、同時に二次イオンが効率よく発生する。生成するイオンは分子イオンが主である。また、長時間照射において、試料の損傷は認められない。これは、衝突過程が断熱的であることを示す。本方法は、SIMS/XPS/Auger等の複合装置のイオン源として期待される。