講演題目

光電子分光法（XPS）における有機薄膜深さ方向分析へのクラスターイオンビームの展開

要旨

光電子分光法（XPS）は半導体材料、高分子材料など広く材料表面の化学結合状態分析に使用されている。しかし深さ方向分析ではAr単原子イオン照射（エッチング）による高分子材料の分解などが発生する。これらエッチング時の損傷を無くし、高分子材料の深さ方向分析を行う手法として各種クラスターイオンによるエッチング方法が近年提唱されている。このクラスターイオンエッチングでは今まで問題となっている副生成物の生成・付着がなく、組成比・化学結合状態変化なく深さ方向分析ができることが期待される。本報告はクラスターイオン（特に帯電液滴照射）を用いたXPS深さ方向分析の現状と課題について報告する。