第39回 薄膜・表面物理セミナー（2011）
「次世代ナノテクのためのナノ計測・加工技術 」
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主旨：
次世代の工業製品開発には、ナノ計測、ナノ加工技術の進捗が不可欠であり、産業界では最優先課題となっています。計測加工手段としては、電子、イオン、探針などをプローブに用いた方法が研究開発されていますが、より微細な領域の計測と加工、多様な材料および環境への応用、材料の表面から内部までの構造解析と組成分析など、要求される範囲が広がってきています。そこで、特に分解能の限界の追及、液体中など難しい環境下への応用、原子レベルでの構造および組成分析など、計測加工が難しい条件と対象を中心にご研究されている講師の方々に最新の成果をご紹介いただきます。本セミナーを通して、計測加工の最先端技術を学び、次世代ナノテクを含めた技術展望について議論したいと考えています。たくさんの方々のご参加をお待ちしております。
日時：2011年10月28日(金) 10:00-17:50
場所：
産業技術総合研究所 臨海副都心センター 別館11階 会議室１
（東京都江東区青海2-3-26，TEL:03-3599-8001
ゆりかもめ テレコムセンター駅下車徒歩4分，
りんかい線 東京テレポート駅下車徒歩15分）
http://www.aist.go.jp/aist_j/guidemap/pdf/waterfront_map.pdf （アクセスマップ）
プログラム
日 時 |
講 演 題 目 |
講 師 |
| 10:00〜10:55 |
収差補正電子顕微鏡によるナノ観察最前線 |
高柳 邦夫（東京工業大学） |
| 10:55〜11:50 |
プローブ顕微鏡による液中原子・分子スケールイメージングおよび固液界面評価の最前線 |
山田 啓文（京都大学） |
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昼休憩 |
|
| 13:00〜13:55 |
三次元中エネルギーイオン散乱装置を用いた軽・重元素の分析 |
小林 峰（理化学研究所） |
| 13:55〜14:50 |
デバイス特性ばらつきと三次元アトムプローブ解析 |
最上 徹（日本電気株式会社） |
| |
休憩 |
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| 15:05〜16:00 |
電子線描画法および自己組織化法を用いた3Tbit/in2超高密度記録ビット列形成 |
保坂 純男（群馬大学） |
| 16:00〜16:55 |
集束イオンビームによる超微細加工とその応用 |
松井 真二（兵庫県立大学） |
| 16:55〜17:50 |
原子間力顕微鏡を用いた室温元素識別・原子操作 |
森田 清三（大阪大学） |
参加費：
薄膜・表面物理
分科会会員* |
応用物理学会会員**
･協賛学協会会員 |
学生*** |
その他 |
10,000円 |
15,000円 |
3,000円 |
20,000円 |
*薄膜・表面物理分科会賛助会社の方は分科会会員扱いといたします．
**応用物理学会賛助会社の方は，応用物理学会会員扱いといたします．
現在非会員の方でも，参加登録時に薄膜・表面物理分科会(年会費A会員：3,000円，B会員：2,200円)にご入会いただければ，本セミナーより会員扱いとさせていただきます．
http://www.jsap.or.jp/ より入会登録を行い，仮会員番号を取得後，本セミナーにお申込み下さい．
入会決定後，年会費請求書をお送りいたします．（年会費をセミナー参加費と同時にお振込なさらないで下さい．）
***学生の場合は，会員・非会員の別を問いません．
定員：65名 (満員になり次第締め切ります．)
参加申込締切：
2011年10月21日（金）
申込締切は過ぎましたが、定員まで余裕があるので当日会場でも受付ます。 参加費は会場でお支払ください。
参加申込方法：
下記分科会ホームページ内の登録フォームにて参加登録してください．
https://annex.jsap.or.jp/phpESP/public/survey.php?name=HakuhyouSeminar39
参加登録完了後，ご連絡いただいた期日までに参加費を下記銀行口座にお振込ください．原則として参加費の払い戻し，請求書の発行は致しません．領収書は当日会場にてお渡しいたします．
参加費振込期限：
2011年10月21日（金）
参加費の入金確認後，参加証をお送りします．
参加費振込先：
三井住友銀行 本店営業部（本店でも可）
普通預金 口座番号： 9474715
(社) 応用物理学会薄膜・表面物理分科会
(シャ) オウヨウブツリガッカイハクマク・ヒョウメンブツリブンカカイ
セミナー内容問合せ先：
筑波大学 山部 紀久夫
TEL: 029-853-6475
FAX: 029-853-5205
E-Mail: yamabe＠esys.tsukuba.ac.jp
群馬大学 曾根 逸人
TEL: 0277-30-1551
FAX: 0277-30-1551
E-Mail: sone＠el.gunma-u.ac.jp
参加登録問合せ先：
応用物理学会事務局分科会担当 上村 さつき
TEL: 03-3238-1043
FAX: 03-3221-6245
E-Mail: divisions＠jsap.or.jp
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