2003年（平成15年）春季　第50回応用物理学関係連合講演会

薄膜・表面物理分科会企画
「最新表面顕微鏡技術とナノテクノロジーへの応用」

日時：平成１５年３月２７日
　　　　１３：００ー１７：２０
場所：神奈川大学

主 旨

プログラム（敬称略）

1. はじめに 　NTT物性基礎研　影島博之

2. SPM組込みスーパーナノプローブ超高真空電子顕微鏡
東工大院理工１、東工大院理工2、東工大院総理工3、東工大院理工4
高柳邦夫１、箕田弘喜2、大島義文3、谷城康真4

3. 走査反射電子顕微鏡
東大院工　市川昌和

4. 走査電子顕微鏡
NTT物性基礎研　本間芳和

5. 低エネルギー電子顕微鏡と光電子顕微鏡　
大阪電通大　越川孝範

6. 走査トンネル顕微鏡／原子間力顕微鏡　
阪大工1、阪大FRC2
森田清三1、2、菅原康弘1、2

7. 走査プローブ顕微鏡のナノ物性計測への応用　
京大院工　山田啓文