第1回集積化ＭＥＭＳ技術研究会

開催日時：平成20 年7 月10 日（木）1１:00～1７:00
開催会場：豊橋技術科学大学ベンチャービジネスラボラトリ(VBL) 3 階セミナー室
会費：研究会会員無料、非会員2,000円
懇親会：会場豊橋技科大内ひばりラウンジ、時間 17:30-19:30、会費 3000 円

開催要領

研究会参加者 59名

CR見学者 40名

懇親会参加者 37名

講演プログラム

	講演タイトル
11:00～12:00	豊橋技術科学大学 CR 見学

13:30～13:40	委員長挨拶
13:40～14:40	LSI とセンサ／MEMS の融合 ○石田誠 (豊橋技術科学大学)
14:40～15:10	MEMS における付加価値と差別化 ○年吉洋 (東大生産研)
15:10～15:30	coffee break
15:30～16:00	高性能MEMS と最先端LSI との集積化プロセス ○田中秀治（東北大）
16:00～16:30	集積化RF-CMOS-MEMS 技術 ○桑原啓（NTT）
16:30～17:00	討論会「本研究会に期待すること？（仮）」 ○年吉洋（東大）、高尾英邦(豊橋技術科学大学)、田中秀治（東北大）　秦誠一（東工大）
17:30～19:30	懇親会

予稿集
発表者別予稿
	LSI とセンサ／MEMS の融合　石田誠 (豊橋技術科学大学)
	MEMS における付加価値と差別化　年吉洋 (東大生産研)
	高性能MEMS と最先端LSI との集積化プロセス　田中秀治（東北大）
	集積化RF-CMOS-MEMS 技術　桑原啓（NTT）
講演の様子
第1回集積化ＭＥＭＳ技術研究会報告書
第1回集積化ＭＥＭＳ技術研究会アンケート結果

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