| セッション |
講演番号 |
講演タイトル |
光MEMS・設計
10/23 （火）
10:20-12:00
座長：
日暮栄治
（東京大学）
石井仁
（豊橋技科大） |
IM1-1 |
「大ストローク連続メンブレンデフォーマブルミラー製作のための大スケールメンブレン転写プロセス」
○Wu Tong and Hane Kazuhiro (Tohoku Univ.) |
| IM1-2 |
「ドラム型マイクロミラーの平面度評価」
○スブラタ クマル クンドウ，疋田 晃義，熊谷 慎也，佐々木 実
(豊田工業大学) |
| IM1-3 |
「サブ波長金属構造体を用いた集積化光フィルタの試作」
○田村 圭太朗，松本 佳宣，岸 達也，平野 貴久 (慶應義塾大学) |
| IM1-4 |
「ハードウェハ記述言語を用いた集積化CMOS-MEMS統合設計技術」
○小西 敏文1，丸山 智史2，三田 信3，山根 大輔4，伊藤 浩之4，町田 克之1,4，石原 昇4，益 一哉4，藤田 博之2，年吉 洋2
(1NTT アドバンステクノロジ 株式会社，2東京大学，3宇宙航空研究開発機構，4東京工業大学) |
| IM1-5 |
「統合設計技術のためのMEMS加速度センサのモデルの検討」
○加賀谷 賢1，小西 敏文2，山根 大輔1，伊藤 浩之1，石原 昇1，年吉 洋3，町田 克之1,2，益 一哉1
(1東京工業大学，2NTT アドバンステクノロジ 株式会社，3東京大学) |
RF-MEMS
10/23 （火）
13:00-15:00
座長：
島内岳明
（富士通研）
積知範
（オムロン） |
IM2-1 |
「ハイブリッド伝送配線をもつ60GHz帯MEMS移相器の設計」
○天本 多紀，重野 貴浩，古塚 岐，鈴木 健一郎 (立命館大学) |
| IM2-2 |
「GCPWを用いた準ミリ波帯MEMS移相器の開発」
○山崎 良太，重野 貴浩，古塚 岐，鈴木 健一郎 (立命館大学) |
| IM2-3 |
「スマートマイクロチップの実現に向けたオンチップアンテナの製作と評価」
○岡部 謙志，秋田 一平，石田 誠 (豊橋技術科学大学) |
| IM2-4 |
「RFミキサ回路のための高速MEMSスイッチの検討」
○伊藤 浩之1，山根 大輔1，小西 敏文2，石原 昇1，町田 克之1,2，益 一哉1
(1東京工業大学，2NTTアドバンステクノロジ) |
| IM2-5 |
「高いQ値をもつSHF帯メアンダインダクタの開発」
○山田 雄輝，山中 辰也，古塚 岐，鈴木 健一郎 (立命館大学) |
| IM2-6 |
「共振現象を用いた低電圧駆動MEMSスイッチドキャパシタの開発」
○井澤 駿，駒井 康之，北村 隆二，谷川 紘，古塚 岐，肥後 矢吉，鈴木 健一郎 (立命館大学) |
材料・デバイス
10/24 （水）
10:20-12:00
座長：
下川房男
（香川大学）
松本佳宣
（慶應義塾大学） |
IM3-1 |
「InP/Si三次元集積システムのためのAu-Au表面活性化接合界面の接合強度およびリークテスト」
○川合 紘夢1，山本 道貴1，日暮 栄治1，須賀 唯知1，白鳥 悠太2，井田 実2，明吉 智幸2 (1東京大学，2NTTフォトニクス研究所) |
| IM3-2 |
「MEMSデバイスなどからの有用金属リサイクルの可能性」
○本間 哲哉，中島 隆広，戴 大禹，下川 貴央，佐久間 寛之，竹鶴 憲昭 (芝浦工業大学) |
| IM3-3 |
「撮像デバイスの3次元構造化に向けた基板の深さ方向に信号伝達可能なMOSFETの試作」
○後藤 正英1,2，萩原 啓1，井口 義則1，大竹 浩1，更屋 拓哉2，年吉 洋2，平本 俊郎2 (1NHK放送技術研究所，2東京大学) |
| IM3-4 |
「アレイ型CMOS-MEMS加速度センサのためのデバイスの検討」
○山根 大輔1，本橋 剛1，小西 敏文2，松島 隆明2，伊藤 浩之1，石原 昇1，年吉 洋3，町田 克之1,2，益 一哉1
(1東京工業大学，2NTT アドバンステクノロジ 株式会社，3東京大学) |
| IM3-5 |
「0.35-um CMOS-LSIによるMEMSセンサ用VCO回路の検討」
○本橋 剛1，小西 敏文2，松島 隆明2，山根 大輔1，伊藤 浩之1，石原 昇1，年吉 洋3，町田 克之1,2，益 一哉1
(1東京工業大学，2NTT アドバンステクノロジ 株式会社，3東京大学) |
バイオテクノロジー
10/24 （水）
13:00-15:00
座長：
高尾英邦
（香川大学）
阪田知巳
（日本電信電話） |
IM4-1 |
「MEMS型細菌捕獲チップの試作とレジオネラ菌を用いた評価」
○林 隆平1，勝部 恭平1，石田 誠1,2，澤田 和明1,2，石田 仁1,2，辛 永式1，中澤 寛一1，町田 克之3,4，石原 昇3，益 一哉3，竹川 祐太5，王 上楽5，飯田 健一郎5，斉藤 光正5，藤井 潤5，吉田 眞一5
(1豊橋技術科学大学，2EIIRIS 豊橋技術科学大学，3東京工業大学，4NTTアドバンステクノロジ，5九州大学) |
| IM4-2 |
「オンチップ細菌観測用マイクロ流路の作製」
○辛 永式1，勝部 恭平1，石田 誠1,2，澤田 和明1,2，石田 仁1,2，町田 克之3,4，益 一哉3，飯田 健一郎5，斉藤 光正5，吉田 眞一5
(1豊橋技術科学大学，2EIIRIS 豊橋技術科学大学，3東京工業大学，4NTTアドバンステクノロジ，5九州大学) |
| IM4-3 |
「CMOS-MEMS集積化触覚センサの検査・修正・実装技術」
○巻幡 光俊1，室山 真徳1，中野 芳弘1，山田 整2，中山 貴裕2，山口 宇唯2，野々村 裕3，藤吉 基弘3，田中 秀治1，江刺 正喜1
(1東北大学，2豊田自動車，3豊田中央研究所) |
| IM4-4 |
「非同期シリアル通信を用いて実装後パラメータ設定可能な集積化触覚センサ用LSI」
○室山 真徳1，中野 芳宏1，巻幡 光俊1，田中 秀治1，山田 整2，中山 貴裕2，山口 宇唯2，野々村 裕3，藤吉 基弘3，江刺 正喜1
(1東北大学，2豊田自動車，3豊田中央研究所) |
| IM4-5 |
「Vapor-Liquid-Solid Si神経電極用(100)-Si CMOSの集積化」
○浅井 皓平，奥川 晃宏，石田 誠，河野 剛士
(豊橋技術科学大学) |
| IM4-6 |
「垂直配向シリコンワイヤーのフォースセンサ型バイオプローブ応用」
○森田 翔伍，藤城 彬史，池戸 昭仁，石田 誠，河野 剛士
(豊橋技術科学大学) |
優秀論文賞