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第7回 集積化MEMS技術研究会


集積化MEMSは,次世代のデバイス・システムの成長原動力となるMore than Moore技術の1つとして,最近,注目を集めています。 本研究会は,MEMSとLSIの両技術分野の融合と新たなテーマ開拓に向けて,材料,プロセス,デバイス構造,実装技術,高歩留まり技術, 高信頼化技術などを視野に入れ,基礎研究から実用化に至るまでの様々な段階に関する活発な議論の場を提供します。 今回は主として「エネルギーハーベスティング」に焦点を当てて,最近の動向について一線でご活躍の講師をお招きして研究会を開催いたしました。 また,本研究会をオムロン株式会社京阪奈イノベーションセンターで開催するにあたり,同センターを見学させて頂きました。

● 開催日時:平成25年5月24日(金)

● 開催会場:オムロン株式会社 京阪奈イノベーションセンター 2階大会議室
        研究会写真


● 懇親会:がんこ 京都駅ビル店
        懇親会写真


研究会参加者 57名
見学会参加者 56名
懇親会参加者 36名



講演プログラム   ※発表時間25分(質疑応答含む)


          
セッション 時間 講演タイトル
前半

13:00-14:50

座長:
積 知範
(オムロン株式会社)
   
13:00-13:10 委員長挨拶
○益 一哉  (東京工業大学.)
13:10-13:35 「エレクトレットを用いたMEMS環境発電」
○鈴木雄二  (東京大学)
13:35-14:00 「PZT圧電薄膜を用いたMEMS音響発電デバイス」
○西岡泰城  (日本大学)
14:00-14:25 「MEMSバッチファブリケーションを目指した電磁型エナジーハ-ベスタ」
○藤田孝之 (兵庫県立大学)
14:25-14:50 「磁歪材料を用いた振動発電技術とその応用」
○上野敏幸 (金沢大学)
14:50-15:00
- 休憩
後半

15:00-16:15

座長:
石井 仁
(豊橋技術科学大学)
    
15:00-15:25 「エレクトレット材料を用いた小型環境振動発電デバイスの開発」
○正木達章  (オムロン株式会社)
15:25-15:50 「環境発電向け熱電変換素子の研究開発」
○鈴木貴志  (株式会社 富士通研究所)
15:50-16:15 「エネルギーハーベスティングとnWセンサノード技術」
○森村浩季  (NTTマイクロシステムインテグレーション研究所)

見学会


● 16:20 - 16:50 オムロン(株)京阪奈イノベーションセンター 



懇親会


● 18:30 - 20:30 がんこ 京都駅ビル店 



企画担当


澤田和明 (豊橋技術科学大学) 【総括】
石井 仁 (豊橋技術科学大学) 【主査】
積 知範 (オムロン株式会社)
西岡泰城 (日本大学)
石田博之 (ズース・マイクロテック)



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