集積化MEMSは，次世代のデバイス・システムの成長原動力となるMore than Moore技術の1つとして，最近，注目を集めています。本研究会は，MEMSとLSIの両技術分野の融合と新たなテーマ開拓に向けて，材料，プロセス，デバイス構造，実装技術，高歩留まり技術，高信頼化技術などを視野に入れ，基礎研究から実用化に至るまでの様々な段階に関する活発な議論の場を提供します。
今回は主として「光−テラヘルツ 通信とセンシング」に焦点を当てて，最近の動向について一線でご活躍の講師をお招きして研究会を開催いたします。また，本研究会を九州大学伊都キャンパスにて開催するに当たり、九州大学伊都キャンパスの見学を研究会に引き続き企画いたしました。
最後に，多くの方の投稿と参加，誠に有難うございました。
● 開催日時：
研究会：平成29年5月26日（金）13:00〜15:05
見学会：平成29年5月26日（金）15:30〜16:30
懇親会：平成29年5月26日（金）17:00〜19:30
● 研究会開催会場：九州大学 稲盛財団記念館 1階 稲盛ホールC
● 見学会開催会場：九州大学 伊都キャンパス工学部関連施設など
● 懇親会：いけ洲 てら崎
研究会・見学会・懇親会写真
| 研究会参加者 |
２０名 |
| 見学会参加者 |
１６名 |
| 懇親会参加者 |
１１名 |
