応用物理学会応用電子物性分科会研究例会
「次世代高周波パワーGaN・SiC電子デバイス」
日時:
2001年5月30日(水) 13:00-17:00
場所:
機械振興会館6階67号室(東京都港区芝公園3-5-8、Tel:
03-3434-8211)
内容:
- 13:00-13:15「ナイトライド系半導体高周波パワーデバイスに対する期待と課題」
- 13:15-13:30「GaN,SiCに期待するパフォーマンス」
- 13:30-14:05「GaN系高周波パワーFET」
- 14:05-14:40「SiC高周波デバイスの現状と課題」
- 14:40-15:00
休憩(総会 5分)
- 15:00-15:30「SiC単結晶ウエハの高品質化と導電性制御」
- 大谷 昇、勝野正和、藤本辰雄、藍郷 崇、矢代弘克(新日本製鐵先端研)
- 15:30-16:00「SiCの導電性制御による2インチφ低抵抗および高抵抗基板の開発」
- 塩見弘,中山
浩二,三柳洋一,*西野茂弘(シクスオン,*京都工芸繊維大学)
- 16:00-16:30「GaN用サファイアウェハーの状況」
- 16:30-17:00「GaN基板を目指したGaAs(111)基板上GaN成長」
参加費:当日受付(テキスト代・消費税込み)
応用電子物性分科会会員:無料、一般 3,000円、学生1,000円
担当幹事:
- 小出 康夫(京都大学)
- 奥村 元(電総研)
- 坂口 春典(日立電線)
- 冬木 隆(奈良先端大学院大学)