応用物理学会　応用電子物性分科会主催
応用電子物性分科会研究例会

MEMS/NEMSによる極限センシング

　半導体微細加工技術やナノ材料等を基礎とするMEMS (Micro Electro Mechanical System)，NEMS (Nano Electro Mechanical System) 技術は近年，目覚ましい発展をとげており，工業や医療などの分野でマイクロアクチュエーター，スイッチ，センサーなどの各種素子に応用されています．最近では，様々な物質を対象とした超高感度センサーへの展開も注目されています．
　そこで，本研究例会では，MEMS/NEMSを用いた超高感度センサー技術について，第一線で活躍されている研究者の皆様をお招きし，最新の成果と今後の展望についてご講演いただきます．

開催日時：2012年 7月30日（月）13:00 - 16:40（開場 12:30）

場所：首都大学東京　サテライトキャンパス
　　　（千代田区外神田 1-18-13　秋葉原ダイビル12階1202号室：http://www.tmu.ac.jp/access.html）

演題：

13:00-13:05
　　応用電子物性分科会幹事長 挨拶

(1) 13:05-13:45
　　「ナノエレクトロメカニカルシステム（NEMS）のセンサー応用」
　　　石原　直（東京大学）

(2) 13:45-14:25
　　「カーボンナノチューブ機械共振器のセンサー応用」
　　　秋田　成司（大阪府立大学）

(3) 14:25-15:05
　　「液中原子間力顕微鏡ならびに超高真空TEM・AFM，FIM・AFM」
　　　川勝　英樹，小林　大，西田　周平，西澤　英伸（東京大学）

　- 休憩（15分）-

(4) 15:20-16:00
　　「生体ナノ力学計測によるタンパク質・細胞構造の新解釈」
　　　猪飼　篤（生体分子計測研究所）

(5) 16:00-16:40
　　「MEMSによる光センシング　− 光ファイバー内視鏡への応用 −」
　　　年吉　洋（東京大学）

受付：こちらから事前登録をお願いいたします．

参加費（テキスト代・消費税込：当日，会場にてお支払い下さい．）
　　　　　分科会会員：2,000円
　　　　　応用物理学会会員（非分科会会員）：5,000円
　　　　　一般：7,000円
　　　　　学生：1,000円

問合せ先：荒川太郎（横浜国立大学）　E-mail: arakawa＠ynu.ac.jp
　　　　　須原理彦（首都大学東京）　E-mail: suhara＠tmu.ac.jp
　　　　（スパム対策のため，上の"＠"は全角になっています．半角の"@"に置き換えて下さい．）

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