春期・秋期講演会における分科会企画の講演
分科内・招待講演
●第1回（2008秋）
後藤 俊夫（中部大，元 名古屋大）（プラズマ診断）
岡崎 幸子（上智大名誉）（大気圧プラズマ）
●第2回（2009春）
真壁 利明（慶応大）低温プラズマとそのプロセスモデリングの萌芽期を生きて
吉田 豊信（東大）プラズマ材料技術イノベーションへの期待
●第3回（2009秋）
橘 邦英 （愛媛大，元京大）構造を有するプラズマと構造を有する媒質中でのプラズマ現象が創成する新しい科学技術
渡辺 征夫（九電専，元九大）微粒子プラズマ科学発展への期待
●第4回（2010春）
佐藤 徳芳（東北大名誉）各種プラズマ応用に必要なプラズマ制御
松田 彰久（阪大）薄膜シリコン系材料におけるプラズマプロセスの理解と制御
●第5回（2010秋）
福政 修 （宇部高専，元山口大）NBI用負イオン源開発を目指したプラズマの生成と制御
秋山 秀典（熊本大）バイオエレクトリクス
●第6回 東日本大震災で講演中止
●第7回（2011秋）2011春で企画された講演を2011秋にスライド
菅井 秀郎（中部大，元名古屋大）マイクロ波を用いた新しいプラズマ生成・診断技術
神藤 正士（静岡大名誉）光源用マイクロ波放電の生成
●第8回（2012春）
河野 明廣（名古屋大学）レーザーや光を用いたプロセスプラズマのその場計測技術
畠山 力三（東北大学）ナノカーボン，ナノスコピックプラズマプロセシング
●第9回（2012秋）
葛谷 昌之（松山大学）有機プラズマ化学の発展の轍
鯉沼 秀臣（NIMS、東大）エネルギー材料開発におけるプラズマ科学の過去と未来
●第10回（2013春）
河合 良信（九大） プラズマプロセス用大面積プラズマ源の開発
小田 哲治（東大） 大気圧プラズマの環境改善技術への応用
●第11回（2013秋）
藤山 寛（長崎大） プラズマ物理の産業応用
小駒 益弘（上智大） 大気圧プラズマのはじめ
●第12回（2014春）
進藤 春雄（東海大） 新しいプラズマ源と診断法の研究
斧 高一（京都大） プラズマ微細加工プロセスのモデリングと体系化: シリコンからメタル・高誘電体材料まで
●第13回（2014秋）
林 康明（京都工繊大） ナノ・微粒子材料のプラズマプロセスとその場観測
永津 雅章（静岡大） プラズマ科学技術の医療・バイオ応用に関する研究に携わって
●第14回（2015春）
石井 彰三（東工大名誉） プラズマを学び科学・技術の最先端に挑戦する
●第15回（2015秋）
水野 彰（豊橋技科大） 低温プラズマを用いるPM2.5・ガス状汚染物質対策
辰巳 哲也（ソニー） プラズマプロセスの定量的な制御に向けて
●第16回（2016春）
大森 達夫（三菱電機） SiCパワーデバイス研究開発の現場と将来展望
●第17回（2016秋）
木下 啓藏（PETRA） ますます拡がる材料・デバイスとプラズマプロセス
●第18回（2017春）
林 俊雄（名古屋大学） 計算科学を用いたプロセスプラズマ中における気相・表面反応解析
●第19回（2017秋）
近藤 道雄（産業技術総合研究所） 太陽光発電にプラズマプロセスが果たした役割と将来への期待
●第20回（2018春）
伊澤 勝（株式会社日立ハイテクノロジーズ） IoT時代のプラズマ微細加工技術
●第21回（2018秋）
林 久貴（東芝メモリ株式会社） 半導体デバイス製造用プラズマエッチング技術とイノベーションへの期待
●第22回（2019春）
本田 昌伸（東京エレクトロン宮城株式会社） 最先端エッチング技術の動向と将来の展望
分科内・招待講演（海外）
●第1回（2011秋）
Alexander Fridman (Drexel University, USA)
"Plasma medicine: direct application of non-thermal atmospheric pressure discharges for treatment of wounds and diseases"
●第2回（2012春）
Wonho Choe (KAIST, Korea)
"Effect of atmospheric pressure plasma on microorganisms and human cells"
●第3回（2012秋）
Jae Koo Lee (Pohang Univ. of Sci. and Technology, Korea)
"Plasma applications to sterilization and aesthetics"
●第4回（2013春）
Mohan Sankaran (Case Western Reserve University, USA)
"Plasma enabled nanoscience"
●第5回（2013秋）
Kwang-Ryeol Lee (Institute for Multidisciplinary Convergence of Matter, KIST, Korea)
"Plasma process for carbon thin films and nanostructured polymer surface"
●第6回（2014春）
Laifa Boufendi (Orleans University, France)
"Dusty plasmas in applications"
●第7回（2014秋）
Suk Jae Yoo （NFRI, Korea）
"Plasma applications to agriculture: Plasma Farming"
Deborah O'connell （Univ. York, UK）
"The role of reactive oxygen and nitrogen species in plasma cancer treatment"
●第8回（2015秋）
Yi-Kang Pu （Tsinghua Univ., China）
"Evolution of electron density and temperature in the afterglow of low plasma argon discharges"
Peter L.G. Ventzek （Tokyo Electron America, USA）
"Integrated approaches for surface chemistry control in plasma processing"
●第9回（2016秋）
J. -S. Wu (National Chiao Tung University, Taiwan)
"Advances in Industrial and Biomedical Applications of Atmospheric-Pressure Plasma"
N-M. Hwang (Seoul National Univ., Korea)
"Nanoparticles in the growth of thin films and nano structures in plasma and non-plasma CVD"
●第9回（2017秋）
Vida Mildaziene (Vytautas Magnus University, Lithuania)
"The response of perennial plants to pre-sowing seed treatment with low temperature plasma: results of long-term observations"
Michel Pons (SIMaP Grenoble INP, CNRS, France)
"Advances in nitride film and coating growth by chemical vapor deposition"
●第9回（2018秋）
Endre Szili (University of South Australia, Australia)
"Tissue models in plasma medicine research"
Lorenzo Mangolini (University of California, Riverside, USA)
"Low temperature plasma synthesis of novel nanomaterials"
チュートリアル講演
●2012春（早稲田大）
橘 邦英（大阪電通大）
「マイクロプラズマの基礎と応用」
大気圧下の気体や液体中で生成されるmm以下の大きさのマイクロプラズマは，従来の低圧気体中で生成されるマクロスケールのプラズマとは違ったプラズマパラメータや，微小空間に起因する外部パラメータで特徴づけられる．そのような特性をプラズマ本来の反応性，発光性，導電・誘電性と組み合わせることによって，ナノ材料の合成，微量化学分析，フォトニックデバイス，さらには環境・バイオ・医療技術などの新しい応用技術への展開が進められている．本講義では，マイクロプラズマの特性を分析した上で，現在の各種マイクロプラズマ源とその応用技術の基礎について解説し，将来への発展性について展望する．
●2012秋（愛媛大・松山大）
杤久保 文嘉（首都大）
「シミュレーションでみる反応性プラズマ〜大気圧から低気圧まで〜」
非平衡プラズマのシミュレーションは，プラズマ中で起こる種々の現象を物理・化学に則って数式で記述し（モデル化），これを数値計算することで実現される．非平衡プラズマのシミュレーションは，実験では計測が困難な現象，例えば，荷電粒子やラジカル，電磁界等の時空間挙動，化学反応過程などを容易に解析することができるので，現象や考え方の理解にとても有用である．昨今，非平衡プラズマの生成は低気圧から大気圧，更には液中へと広がり，その利用も材料プロセスから環境，バイオ・医療応用へと展開している．本講義では，放電物理の基礎，非平衡プラズマのモデリング・シミュレーション手法を概説した後，シミュレーションを通じて理解される各種プラズマの特徴を，応用事例を含めながら解説する．気圧や生成法の違いによるプラズマの共通点，相違点についても議論する．
●2013春（神奈川工科大）
辰巳 哲也（ソニー）
「プラズマの基礎とその微細加工技術への応用」
最先端のLSI製造等にはプラズマを用いたプロセス技術が数多く用いられています. プラズマの反応はその生成から材料表面での物理・化学反応の制御に至るまで複数の非常に複雑な過程を経て起こっているため, ブラックボックスとして扱われることも多いのが現状です. 本講義ではドライエッチングと呼ばれる微細加工技術を中心に, プラズマ生成の原理や活性種の制御, 及びこれを用いた加工特性制御の基礎について最新の話題を交えてわかり易くお話ししたいと思います.
●2014春（北大）
霜垣 幸浩（東大）
「プラズマプロセス速度論解析の基礎とCVD/ALDへの展開」
1) CVD/ALD法の基礎知識と応用用途
2) CVD/ALD薄膜形成の速度論入門〜製膜速度の温度・濃度依存性〜
3) 速度論から見たALDプロセスの理想特性と実際
4) プラズマプロセスの速度論解析の基礎と応用
〜プラズマによるラジカル生成とCVD/ALD薄膜形成への応用〜
●2015春（東海大）
「発光分光計測法によるプロセスプラズマの実践的計測の基礎と応用」
赤塚 洋（東工大）
第1部・基礎「電子温度・密度、ガス温度、ラジカル密度の測定」
第1部では衝突輻射モデルに基づいて、発光分光計測結果から電子温度・密度を導出するための基礎・方法を述べ、次に分子性気体放電のバンドスペクトル分光解析結果からガス温度の近似値としての回転温度を求める方法を述べ、最後にアクチノメトリー法を用いた分子気体放電プラズマ中の原子状ラジカルの測定方法を説明する。
布村 正太（産総研）
第2部・応用「プロセスモニタリングへの適用」
第2部では、プロセスプラズマへの適用例を紹介する。太陽電池用途のプラズマプロセスを取り上げ、発光分光計測に基づくプロセスモニタリングとプロセスの最適化手法について解説する。
●2016春（東工大）
高木 浩一 (岩手大)
「大気圧プラズマの基礎と農業への応用
〜超格安電源づくりから農作物生産や鮮度保持への活用まで〜」
適切な高電圧電源を選ぶために
1.1 はじめに
1.2 直流高電圧電源の種類と用途
1.3 交流高電圧電源の種類と用途
1.4 パルス高電圧電源の種類と用途
1.5 おわりに
高電圧・プラズマの農業への利用
2.1 はじめに
2.2 発芽・生育促進への利用
2.3 結実・キノコ収量改善への利用
2.4 混載輸送への利用
2.5 評価・制御手法；SPAD、PCR、ECモニタリング、養液の自動制御
2.6 おわりに
高電圧・プラズマの水産・食品分野への利用
3.1 はじめに
3.2 水産物の鮮度保持
3.3 食品の機能性発現
3.4 液状食品の有用成分抽出
3.5 発酵食品のプロセス改善
3.6 評価・制御手法；K値、SDS-PAGE、トリプシン酵素活用など
3.7 おわりに
●2017春（パシフィコ横浜）
浜口 智志 (大阪大)
「プラズマプロセス制御のためのプラズマシミュレーション基礎
〜表面反応の理解を中心に〜」
近年の半導体チップにおける３次元構造や新規材料等の導入により、その製造工程にも、従来技術の延長ではない新規プロセスの導入が求められている。 特に、新規の材料に対して原子スケールの精度での膜堆積や加工が求められる際には、プラズマに接する物質表面上の化学反応に関する深い理解が、新規のプロセス技術開発にも重要な役割を果たす。 本チュートリアルでは、プラズマから照射される各種粒子と物質表面との相互作用を解析するツールとしての分子動力学シミュレーションと第一原子（量子力学）シミュレーションについて概説し、対応する実験結果との比較の議論も含め、シミュレーション結果を実際のプロセス開発にどのように応用できるか、その方法論を詳細に議論する。 また、よりマクロなスケールを対象とした各種シミュレーション（形状シミュレーションからプラズマシミュレーション）についても、マルチスケール物理の観点から、その概要と相互関係について議論する。
●2018春（早稲田大学西早稲田キャンパス）
栗原 優 (株式会社日立製作所)
「プラズマ微細加工技術の基礎と応用
〜エッチング基礎から原子層エッチングまで〜]
TBD