幹事長挨拶

2017年3月より、シリコンテクノロジー分科会第10代幹事長を務めることになりました。微力ながら本分科会の発展に貢献できますよう、精一杯務めて参りますので、どうぞ宜しくお願い致します。

本分科会は、1999年に活動を開始してから18年目を迎えております。初代幹事長 服部健男先生は、分科会発足のご挨拶の中で、「半導体集積回路技術の進展により微小化と集積化が進み、その結果誕生した可搬性と信頼性のある高密度集積回路が、今日の高度情報化社会を支えていると言える。」と述べられました。分科会の名称となっております「シリコンテクノロジー」は、申し上げるまでもなく、今日の高度情報化社会を支える技術基盤の地位を確立しております。

その一方、近年、シリコンテクノロジーの微細化も10nm以下に達し、まさにナノテク時代を迎えています。この極限まで微細化されたデバイスで発現する様々な課題によって、従来の技術トレンドが飽和し始めており、新しい技術プラットフォームが社会から強く求められています。この社会的要請を受けて世界中でなされている様々な技術検討により、IoTやビックデータ、更にはAIに代表される将来のエレクトロニクスを支える新しい技術プラットフォームにおいても、やはりシリコンテクノロジーを基盤技術として3次元構造や新原理デバイスなどの革新的新技術をアドオンする”X on CMOS”プラットフォームを創出し、シリコンテクノロジーの新展開(Extended CMOS)を推し進めることが、我々の進むべき道であるとのコンセンサスが形成されてきています。このように、シリコンテクノロジーは、今後もその使命を担い続けると理解し、本分科会の意義は将来も変わらないと考えています。

本分科会は、ULSIデバイス研究委員会、表面・界面・シリコン材料研究委員会、多層配線システム研究委員会、モデリング研究委員会、接合技術研究委員会、Siナノテクノロジー研究委員会、ナノ・マイクロファブリケーション研究委員会、講演会大分類「13半導体」プログラム委員会、VLSIシンポジウム委員会、Silicon Nanoelectronics Workshop委員会からなり、昨年度、本技術領域の世界的技術ロードマップの策定をミッションとするシステムデバイスロードマップ(SDRJ)委員会が新設され、事業規模は分科会最大となっております。各委員長の下、理論・材料・デバイスから、回路・システムまで、シリコンテクノロジーに係る横断型・融合型の活動が展開されている状況です。

最近、分科会ホームページのリニューアル、国際会議主催の厳格化、委員会の新設、学術講演会における若手シンポジウム、特別シンポジウム等の分科会活動の活性化が図られました。若林 整前幹事長はじめ、常任幹事会、及び研究委員会の皆様によるこれまでのご尽力に感謝申し上げると共に、前幹事長の意思を引継ぎ、これまでの伝統に根ざした活動をベースに、産学連携の促進など更なる活動の活性化を図って参る所存です。会員の皆様のご理解とご協力をお願い申し上げます。

2017年6月
応用物理学会
シリコンテクノロジー分科会
幹事長 遠藤 哲郎(東北大学)

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