第184回研究集会詳細

第184回 研究集会詳細

応用物理学会シリコンテクノロジー分科会
第184回研究集会「2015 VLSIシンポジウム」特集

1. 日時 ：2015年8月17日(月) 10:00-16:50 
2. 場所 ：甲南大学ネットワークキャンパス東京　講義室
(〒100-0005　東京都千代田区丸の内1丁目7-12　サピアタワー10F　TEL：03-6266-9520　FAX：03-6266-9522) 
http://www.konan-u.ac.jp/tokyo/access/index.html
☆　免許証等の本人確認できるものをご持参の上、サピアタワー3階の総合受付でご提示いただき、10階にお上がりください。
3. 会場担当	：寺内　衛 <甲南大学>
4. テーマ	：先端デバイスプロセス技術（2015 VLSI Symposia特集）
5. 参加費 	：分科会員  2000円、非分科会員  4000円 


プログラム 

1. 信頼性を考慮した0.5nm EOTを有するゲルマニウムゲートスタックの設計と実証	10:00-10:30
　　 魯辞莽、李忠賢、西村知紀、鳥海明
　　<東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻、JST-CREST>

2. 低消費LSIのためのIII-V族半導体およびGe/ひずみSOIトンネルFETテクノロジー	10:30-11:00
　　 高木信一、金閔洙、野口宗隆、池尚口、西康一、竹中充
　　<東京大学大学院工学系研究科電気系工学専攻、JST-CREST>

3. Impact of Random Telegraph Noise on Write Stability in Silicon-on-Thin-BOX (SOTB) SRAM Cells
   at Low Supply Voltage in Sub-0.4V Regime	11:00-11:30
　　 H. Qiu*, T. Mizutani*, Y. Yamamoto**, H. Makiyama**, T. Yamashita**, H. Oda**, S. Kamohara**,
     N. Sugii**, T. Saraya*, M. Kobayashi* and T. Hiramoto*
　　<*The Univ. of Tokyo and **LEAP, Japan>

昼食		11:30-13:00

4. high-k添加シングルp+Polyゲートを用いた超低リーク用途向け薄膜BOX-SOI CMOS	13:00-13:30
     山本芳樹、槇山秀樹、山下朋弘、尾田秀一、蒲原史朗、山口泰男、杉井信之*、水谷朋子**、小林正治**、平本俊郎**
　　<ルネサスエレクトロニクス, *日立製作所, **東京大学生産技術研究所>

5. Device Design Guideline for Steep Slope Ferroelectric FET Using Negative Capacitance in Sub-0.2V Operation:
   Operation Speed, Material Requirement and Energy Efficiency	13:30-14:00
　　 小林正治、平本俊郎
　　<東京大学生産技術研究所>

6. トップゲート型セルフアラインInGaZnO-TFTの高性能化
  シリコン互換性のあるソース・ドレイン寄生抵抗低減技術と極薄チャネル及び極薄BOXを用いた閾値電圧調整	14:00-14:30	 
　　 太田健介、入沢寿史、佐久間究、田中千加、池田圭司、手塚勉、松下大介、齋藤真澄
　　<（株）東芝 研究開発センター LSI基盤技術ラボラトリー>

休憩　　14:30-14:50	

7. 原子スイッチを用いた不揮発性論理回路とＲＯＭの混載マイクロプロセッサ	14:50-15:20
　　 辻幸秀、白旭、宮村信、阪本利司、多田宗弘、伴野直樹、岡本浩一郎、井口憲幸、波田博光、杉井信之*
　　<日本電気株式会社　グリーンプラットフォーム研究所、日立製作所　エレクトロニクスイノベーションセンタ>

8. ライト速度2.8GB/sと消去速度670-MB/sを有する3次元縦型チェインセル相変化メモリアレイ	15:20-15:50	 
　　 黒土健三、笹子佳孝、吉武　宏、峯邑浩行、安齋由美子、藤崎芳久、高濱　高、高橋俊和、峰 利之、島　明生、藤崎耕司、小林　孝
　　<株式会社日立製作所 研究開発グループ>

9. 2015 Symposium on VLSI Technologyを振り返って	15:50-16:20
　　 稲葉　聡
　　<2015 Symposium on VLSI Technology Technical Program Chair、株式会社東芝 韓国社>

10. 総合討論	16:20-16:50

以上