日時：2016年2月27日(土) 13:00〜17:30
場所：大阪梅田、宝塚大学梅田キャンパス
（大阪府大阪市北区芝田1丁目13-16）
http://www.takara-univ.ac.jp/access/#title03
主催：応用物理学会シリコンテクノロジー分科会
企画：シリコンテクノロジー分科会ナノ・接合技術研究会
参加費：Siテクノロジー分科会会員 2000円，非会員 4000円
テーマ：「接合技術の新展開」
オーガナイザー: 中島良樹(日新イオン), 伊藤裕之(AMAT), 山口直(ルネサス), 柴田聡(パナソニック)

【プログラム詳細】

１３：００〜１３：１０
    筒井一生様（東工大）開会の挨拶

１３：１０〜１３：４０　
　　若林整様（東工大）「高性能SoC向けCMOSデバイス技術動向と将来技術」

１３：４０〜１４：１０　
　　松波弘之様　「パワー半導体SiC技術の進展と今後」

１４：１０〜１４：４０　
　　寺部一弥様（NIMS）「固体内のイオン移動を利用した界面ナノアーキテクトニクス」

１４：４０〜１５：１０　
　　鵜野浩行様（住重試験検査�梶j
   「高エネルギーイオンを用いた半導体製造技術−エネルギー範囲23MeVまでの水素、ヘリウムイオン−」

１５：１０〜１５：３０　休憩

１５：３０〜１６：００　
    黒田理人様（東北大）「CMOSイメージセンサの高速化・高感度化・広光波長帯域化技術」

１６：００〜１６：３０
　  江利口浩二様、　斧高一様（京都大）
　　「プラズマプロセス誘起ダメージによるデバイス特性劣化の包括的モデル」

１６：３０〜１７：００　
    采山和弘様（サクラクレパス）
    「プラズマインジケータの開発　〜プラズマ処理効果の可視化ツールを目指して〜」

１７：００〜１７：１０　閉会の挨拶　水野文二（パナソニックFS、接合技術委員会委員長）

１７：３０〜　懇親会（当日受付）4000円　地中海バール“agmo”　宝塚大学すぐ横

  http://tabelog.com/osaka/A2701/A270101/27043859/



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問い合わせ先：
パナソニック株式会社 先端研究本部
柴田聡　　shibata.satoshi007@jp.panasonic.com