第２５回 研究集会詳細
日時：平成１３年１月２４日
場所：武蔵工業大学 武蔵工業大学６号館地下１階６Ｂ２教室
武蔵工業大学キャンパス周辺地図
議題：ULSIデバイス関連
MOSFET技術は、単に微細化をするだけの段階から、寄生効果をいかに減らすかという段
に移り、そして現在ではMOSFETの本質的な部分に手をいれて高性能化をはかる段階になっ
てきている。そのために、単にスケーリング則と言っているだけではなく、より本質的な
理解が究めて重要になってきている。先日のIEDM2000でも若干の改良ではなく、より本質
的な理解に基づく変革のきざしが見えてきている。
今回の研究会では、MOSFETの動作、材料、構造の言い訳のできない基本に焦点をしぼっ
て研究成果を議論したい。
1. High Performance MOSFET
9:00-9:30
IEDM全般（Ｉ）デバイス、平本俊郎、東京大学
9:30-10:00
(ア) 急峻なHaloによるSub-50-nm CMOS技術、若林 整(1)、植木 誠、成廣 充、深井 利憲、
*池澤 延幸、*松田 朋子、 *吉田 和由(2)、竹内 潔、落合 幸徳、最上 徹、
NEC システムデバイス・基礎研究本部 シリコンシステム研究所、
*NECエレクトロンデバイス 先端デバイス開発本部、
（現(1)Microsystems Technology Laboratories, MIT、(2)エルピーダメモリー）
10:00-10:30
(イ) ダイナミック閾値電圧ダマシンメタルゲートMOSFET(DT-DMG-MOS)技術、八木下 淳史、
齋藤 友博、犬宮 誠治、松尾 浩司、綱島 祥隆、須黒 恭一、有門 経敏、
（株）東芝 セミコンダクター社、プロセス技術推進センター
10:30-11:00
(ウ) 二重オフセットソース・ドレインおよび低温窒化膜を用いた80nmCMOSトランジスタ
技術、佐山 弘和，西田 征男，尾田 秀一，土本 淳一，梅田 浩司，寺本 章信，
永久 克巳，井上 靖朗，犬石 昌秀、三菱電機 ULSI技術開発センター
11:00-11:30
(エ) NO酸窒化膜によるゲート絶縁膜スケーリング限界の延命：サブ100 nm世代における
デバイス設計及びプロセス技術の最適化、
藤原 実、高柳 万里子、清水 敬*、豊島 義明、（株）東芝 セミコンダクター社 、
システムLSI開発センター、(*)プロセス技術推進センター
11:30-12:00
(オ) 高性能システム・オン・チップコア向けのCu/低誘電率配線を用いた0.11um CMOS技術、
鷹尾 義弘、工藤 寛、 三谷 純一、小谷 義之、山口 聡志、吉江 敬三郎、直理 修久、
浅井 了、河野 通有(富士通)、永野 隆史、山村 育弘、植松 政也、長島 直樹、
門村 新吾、（ソニー）
12:00-13:00 昼休み
13:00-13:30
IEDM全般（Ⅱ）High-k、三谷 祐一郎、（株）東芝 研究開発センター
2. Device Engineering Essentials
13:30-14:00
(ア) Si固相エピタキシャル成長と選択エッチングを用いた低熱容量Elevated S/D技術、
宮野 清孝、水島 一郎、
*外園 明、*大内 和也、綱島 祥隆、(株)東芝 セミコンダクター社
プロセス技術推進センター、*システムLSI開発センター
14:00-14:30
(イ) 高信頼性poly-SiGe/Amorphous-SiゲートCMOS技術、上嶋 和也、山本 豊二、最上 徹、
NEC システムデバイス・基礎研究本部 シリコンシステム研究所
14:30-15:00
(ウ) 「0.13μｍＣＭＯＳトランジスタ性能に対するエッチストップ窒化膜の応力の影響、
伊藤 信哉、難波 弘晃、平田 剛、安藤 公一、小山 晋、池澤 延幸、鈴木 達也、
齋藤 武博、堀内 忠彦、ＮＥＣ
15:00-15:30
(エ) 大規模システムLSIに向けた高性能・高密度130nmノードCMOSデバイス技術、
大塚 文雄(*1)、 野中 裕介(*1)、南 正隆(*2)、 橋本 直孝(*2)、 尾内 享裕(*3)、
大西 和博(*3)、太田 裕之(*4)、清水 昭博(*5)、
(*1)日立製作所 デバイス開発センタ半導体技術開発本部プロセス開発部、
(*2)日立製作所 半導体グループ半導体技術開発統括本部プロセス技術開発部、
(*3)日立製作所 中央研究所ULSI研究部、 (*4)日立製作所 機械研究所第3部、
(*5)日立超LSIシステムズ ULSI開発本部プロセス技術開発部
3. Device Physics
15:30-16:00
(ア) ポケット注入したチャネル不純物の統計揺らぎに起因するVthばらつきの直接測定
とシミュレーション、
田中 琢爾、臼杵 達哉、二木 俊郎、籾山 陽一、杉井 寿博、富士通研究所
Cプロジェクト部 デバイス開発部
16:00-16:30
(イ) Vthばらつきの定量的シミュレーションにむけた離散不純物モデル、佐野 伸行、
松沢 一也*、向井 幹雄*、中山 範明*、筑波大、*STARC
16:30-17:00
(ウ) 重水素による高信頼性ゲート酸化膜の実現、三谷 祐一郎、佐竹 秀喜、伊藤 仁、
鳥海 明*、(株)東芝 研究開発センター、*東京大学
17:00-17:30
(エ) ホールのダイレクトトンネリングに起因する極薄酸化膜の劣化特性、出口 和亮、
宇野 重康、石田 明寛、鎌倉 良成、谷口 研二、大阪大学
総合討論
懇親会 ９号館２階談話室