|
講演タイトル |
| 10:00〜10:15 |
イントロダクトリートーク：集積化MEMS 技術 ○石田 誠 (豊橋技科大) |
| 10:15〜11:00 |
集積化MEMS のこれまでとこれから ○田中 秀治 （東北大） |
| 11:00〜11:30 |
MEMS 等価回路モデルを用いた設計プラットフォーム ○橋口 原 （静岡大） |
| 11:30〜12:00 |
IMEC's Strategy and Activity on MEMS ○Philip Pieters (IMEC) |
| 12:00〜13:15 |
昼食 |
| 13:15〜13:45 |
MEMS ファウンドリから見た集積化MEMS 技術 ○武居正彦 (富士電機) |
| 13:45〜14:15 |
LSI ファウンドリを用いたCMOS/MEMS ○Chiung-I Lee (台湾工業技術研究院) |
| 14:15〜14:45 |
MEMS・センサと集積回路の統合化技術 ○高尾英邦 （豊橋技科大） |
| 14:45〜15:15 |
高信頼性化のためのスティッキング防止技術 ○阪田 知巳 (NTT) |
| 15:15〜15:30 |
休憩 |
| 15:30〜16:00 |
MEMS デバイスのためのテスト技術○ 渡辺 彰一 (東京エレクトロン) |
| 16:00〜16:30 |
MEMS 技術のための封止装置技術 ○足立 秀喜 (大日本スクリーン) |
| 16:30〜17:00 |
MEMS 実装技術のためのステルスダイシング ○内山 直己 (浜松ホトニクス) |
| 17:00〜17:30 |
総合討論 ○年吉 洋 (東京大) |
| 18:15〜19:45 |
懇親会 |
 印刷版プログラム |
講演資料