第129回研究会 (2008.7) 開催日時： 2008年07月02日 開催テーマ：結晶工学が開く次世代MEMS/NEMS技術 コンテンツを読むためには会員のパスワードが必要です 開催概要 開催日時 2008年07月02日 会場 キャンパスプラザ京都 第2講義室 主催 公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会 【基調講演】 MEMSのサイエンス—単結晶シリコンのエッチング特性，機械特性の新知見— 佐藤 一雄 (名大) NLDプラズマを用いたSiドライエッチング技術 森川 泰宏 (アルバック) 単結晶シリコンMEMSデバイスの破壊と疲労 土屋 智由 (京大) 半導体へテロ構造を用いたマイクロ・ナノメカニカル素子 山口 浩司 (NTT 物性科学基礎研) MEMS応用を目指した単結晶SiC加工技術 須田 淳 (京大) MEMS技術を用いたCNTの合成、集積化、センサ応用 河野 剛士 (豊橋技科大) 圧電薄膜によるMEMSデバイス応用 神野 伊策 (京大)
