第145回研究会 (2016.6) 開催日時: 2016年06月03日 開催テーマ:ワイドギャップ半導体を支えるバルク基板とエピ技術 コンテンツを読むためには会員のパスワードが必要です 開催概要 開催日時 2016年06月03日 会場 名古屋大学 東山キャンパス 坂田・平田ホール 主催 公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会 HVPE法によるn型AlNバルク基板作製の検討 熊谷義直1,富樫理恵1,山本玲緒1,2,永島徹2,木下亨2,村上尚11,Monemar Bo1,3,纐纈明伯1(1東京農工大学,2トクヤマ,3Linköping University) ヘテロエピタキシャル成長技術を用いた高品質・大面積ダイヤモンド基板の開発 澤邊 厚仁1,會田英雄2,児玉英之1(1青山学院大学,2並木精密宝石) 大型高品質単結晶ダイヤモンドの高圧高温合成と欠陥制御 角谷 均 (住友電気工業) Ga2O3基板とホモ/ヘテロエピタキシャル成長技術 佐々木 公平1,2,3、倉又 朗人1,2、増井 建和1,2、後藤 健1,2,4、森島 嘉克1、飯塚 和幸1、 ティユ クァン トゥ4、富樫 理恵4、村上 尚4、熊谷 義直4、モネマー ボ5、 東脇 正高3、山腰 茂伸1,2(1タムラ製作所,2ノベルクリスタルテクノロジー,3情報通信研究機構,4東京農工大学,5リンチョピン大学) 酸性アモノサーマル法による高品位バルクGaN結晶成長 斉藤 真1,2,包 全喜1,3,栗本 浩平1,3,冨田 大輔1, 小島 一信1,鏡谷 勇二2,茅野 林造3,石黒 徹1,秩父 重英1 (1東北大学,2三菱化学,3日本製鋼所) SiCバルク基板の大口径化・高品質化 大谷 昇 (関西学院大学) GaN on Siヘテロエピタキシャル成長 江川 孝志 (名古屋工業大学)