開催概要

開催日時

1975年12月19日

主催

公益社団法人応用物理学会　結晶工学分科会

• 蝕像と結晶の対称性

  芦田 佐吉 (日立中研)

• 金属と酸化物の化学エッチング

  楢岡 清威 (日立武蔵工場)

• 半導体デバイス製造におけるプラズマ加工

  西岡 久作 (三菱電機北伊丹)、阿部 東彦、小宮 啓義 (三菱電機中研)

• III-V化合物結晶の高精度エッチング技術とその応用

  梅鉢 昭太郎 (松下電子中研)