第69回研究会 (1976.9) 開催日時: 1976年09月27日 開催テーマ:GaAsサブミクロンエピタキシャル結晶の問題点 ~GaAsプレーナ素子用結晶~ コンテンツを読むためには会員のパスワードが必要です 開催概要 開催日時 1976年09月27日 主催 公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会 GaAsプレーナデバイスにおけるエピ−基板境界層の問題について 生駒 俊明、原 和裕、滝川 正彦、栗原 由起子 (東大生研)、伊東 朋弘、柳井 久義 (東大工) GaAsサブミクロン層の電気的評価法 新井 道夫 (ソニー中研) GaAs FET用サブミクロン結晶のバッファ層 青木 征男、平尾 元尚、古寺 博 (日立中研) GaAs VPEにおける界面特性 柴富 昭洋、中井 建弥、大川 潭二、横山 直樹、三村 高志、石川 元 (富士通研) GaAs MESFET用サブミクロン結晶成長 野崎 忠敏、渡辺 久恒 (日電中研)