開催概要

開催日時

1978年09月22日

主催

公益社団法人応用物理学会　結晶工学分科会

• GaP結晶引上単結晶の不均一性

  渡辺 正晴 (東芝半導体)、渡辺 正幸、小竹 秀典、平原 奎治郎 (東芝総研)

• ストリエーションの欠陥構造

  千川 純一 (NHK基礎研)

• 引上法単結晶の不均一性と素子特性

  高須 新一郎 (超LSI共同研)

• 引上法における回転数による界面形状の変化

  白木 健一 (日電中研)