第75回研究会 (1979.8) 開催日時： 1979年08月24日 開催テーマ：プラズマによる加工技術 コンテンツを読むためには会員のパスワードが必要です 開催概要 開催日時 1979年08月24日 会場 機械振興会館 主催 公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会 リアクティブイオンビームエッチング 岡野 晴雄、堀池 靖浩、柴垣 正弘 (東芝総研) プラズマエッチング 榎本 龍弥 (三菱電機LSI開発センター) アルミニウム膜のドライエッチング 井入 正博、木下 博 (日電東芝情報システム) プラズマエッチングの半導体プロセスへの応用 井上 森雄、大熊 徹、三井 健二、戸所 義博(松下電子半導体R&Dセンター) イオンエッチングの応用 後閑 博史、絵所 壮太郎 (日電中研) 反応性スパッタエッチング表面の評価 尾嶋 正治、薮本 周邦 (日本電信電話公社武蔵野通研) ドライエッチングの機構 津田 穣 (千葉大薬)
