第90回研究会 (1988.5) 開催日時： 1988年05月17日 開催テーマ：原子層制御エピタキシャル成長と評価 コンテンツを読むためには会員のパスワードが必要です 開催概要 開催日時 1988年05月17日 会場 国際電気通信基礎研究所(ATR)ツイン21MIDタワー20階会議室 主催 公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会 Introductory 藤田 茂夫 (京大工) マイグレーション・エンハンスト・エピタキシーにおけるGaAsの成長機構 堀越 佳治 (NTT基礎研) 有機金属ガスを用いたGaAs，AlAsのALE成長 尾関 雅志、望月 孔二、大塚 信幸、児玉 邦彦(富士通研) II-VI族化合物のALE 八百 隆文 (電総研) 分子層エピタキシャル成長と評価 西澤 潤一 (東北大) MBEによる超格子の作製と評価 佐野 直克 (関学大理) ルミネセンスによるGaAs/AlGaAs界面の単分子層ステップの観察 中島 尚男 (阪大産研) クロライドALE 碓井 彰 (日電基礎研) ハロゲン系ALEの成長機構 関 寿、纐纈 明伯、中井 英雄、三枝 明彦(農工大工)
