第92回研究会 (1989.5) 開催日時: 1989年05月26日 開催テーマ:ヘテロエピタキシー —低欠陥化へのアプローチ— コンテンツを読むためには会員のパスワードが必要です 開催概要 開催日時 1989年05月26日 会場 大阪大学レーザー核融合研究センター研究棟4階大ホール 主催 公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会 Si基板上のGaAsエピタキシーにおける成長初期週程と欠陥 川辺 光央 (筑波大) Si基板上へのシングルドメインGaAs,GaPの成長 梅野 正義、神保 孝志、曽我 哲夫 (名大工),野崎 真次 (インテル研究所), 能登 宣彦 (信越半導体) GaAs/SiのMEE成長 野沢 和彦、堀越 佳治、W. Stolz (NTT基礎研) ポーラスSi基板上へのGaAsのMBE成長 伊藤 利道、平木 昭夫 (阪大工),長谷川 繁彦、前橋 兼三、佐藤 正道、中島 尚男(阪大産研) V溝Si基板上GaAs層の選択成長と評価 橋本 明弘、福永 敏明、渡辺 望 (光技研) Si(001)基板上へのGeのへテロエピタキシ 三木 一司、坂本 統徳、坂本 邦博、奥村 元、吉田 貞史 (電総研) 弗化物/Si構造上へのGaAs膜のへテロエピタキシー 石原 宏 (東工大精研)、筒井 一生、古川 静二郎 (東工大総理工)) Si上へのSiCのヘテロエピタキシー 松波 弘之 (京大工)