公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会

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第92回研究会 (1989.5)

開催日時: 1989年05月26日

開催テーマ:ヘテロエピタキシー —低欠陥化へのアプローチ—

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開催概要

開催日時
1989年05月26日
会場
大阪大学レーザー核融合研究センター研究棟4階大ホール
主催
公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会
  • Si基板上のGaAsエピタキシーにおける成長初期週程と欠陥

    川辺 光央 (筑波大)

  • Si基板上へのシングルドメインGaAs,GaPの成長

    梅野 正義、神保 孝志、曽我 哲夫 (名大工),野崎 真次 (インテル研究所), 能登 宣彦 (信越半導体)

  • GaAs/SiのMEE成長

    野沢 和彦、堀越 佳治、W. Stolz (NTT基礎研)

  • ポーラスSi基板上へのGaAsのMBE成長

    伊藤 利道、平木 昭夫 (阪大工),長谷川 繁彦、前橋 兼三、佐藤 正道、中島 尚男(阪大産研)

  • V溝Si基板上GaAs層の選択成長と評価

    橋本 明弘、福永 敏明、渡辺 望 (光技研)

  • Si(001)基板上へのGeのへテロエピタキシ

    三木 一司、坂本 統徳、坂本 邦博、奥村 元、吉田 貞史 (電総研)

  • 弗化物/Si構造上へのGaAs膜のへテロエピタキシー

    石原 宏 (東工大精研)、筒井 一生、古川 静二郎 (東工大総理工))

  • Si上へのSiCのヘテロエピタキシー

    松波 弘之 (京大工)

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