第97回研究会 (1992.1) 開催日時: 1992年01月29日 開催テーマ:大口径シリコン基板の結晶工学 コンテンツを読むためには会員のパスワードが必要です 開催概要 開催日時 1992年01月29日 会場 学習院大学百周年記念会館小講堂 主催 公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会 デバイスからみたシリコンの将来 名取 研二 (東芝ULSl研) シリコンの結品欠陥 角野 浩二 (東北大金材研) シリコンの大口径結品製造と課題 篠山 誠二、江阪 久雄、田中 正博 (新日鉄エレ研) シリコン中の不純物の挙動 —理論と実験— 早藤 貴範 (ソニー中央研) 陽電子消滅によるシリコン結晶中の空孔型欠陥および酸素の挙動の評価 谷川 庄一郎 (筑波大物質工学系) シリコン結晶の現状とGビット時代への課題 津屋 英樹 (日本電気)