第106回研究会 (1997.1) 開催日時： 1997年01月24日 開催テーマ：多結晶薄膜の結晶工学 コンテンツを読むためには会員のパスワードが必要です 開催概要 開催日時 1997年01月24日 開催形式 学習院大学百周年記念会館 主催 公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会 結晶格子欠陥と多結晶薄膜 竹田 精治 (阪大院理) 半導体およびセラミックスの結勗粒界の原子・電子構造 —理論計算によるアプローチ— 香山 正恵 (大阪工業技研) レーザアニールを用いた多結晶シリコン膜形成とその電子デバイスへの応用 鮫島 俊之 (東京農工大) 機能性セラミックス粒界の反応・構造と電子状態 田中 順三 (無機材研) 高誘電率(Ba,Sr)TiO3薄膜の結晶性と誘電特性 堀川 剛 (三菱電機) Al配線のマイグレーションと多結晶の性質との関わり 岡林 秀和 (NEC研究開発グループ) 多結晶Al薄膜の配向成長とエレクトロマイグレーション耐性 金子 尚史、豊田 啓、蓮沼 正彦 (東芝)
