公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会

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第107回研究会 (1997.5)

開催日時: 1997年05月30日

開催テーマ:IV族ワイドギャップ半導体SiC、ダイヤモンドの結晶工学 —耐環境電子素子を目指して—

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開催概要

開催日時
1997年05月30日
会場
島津製作所大阪支社マルチホール
主催
公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会
  • イントロ —ワイドギャップ半導体SiCの結晶工学—

    松波 弘之 (京大工)

  • Si基板上への3C-SiCのCVD/MBEヘテロエピタキシャル成長 —シミュレーションから特晶成長—

    北畠 真、内田 正雄 (松下中研)

  • 白金上のダイヤモンド・ヘテロエピタキシー

    橘 武史、横田 嘉宏、小橋 宏司 (神戸製鋼)、新谷 義廣 (徳島大工)

  • リソドープダイヤモンドの合成と評価

    加茂 睦和 (無機材研)

  • 昇華法によるSiC単結晶の成長端面観察と結晶評価

    杉山 尚宏、岡本 篤人、奥村 公平、谷 俊彦、神谷 信雄 (豊田中研)

  • 平面ディスプレイ用電子放出素子としてのCVDダイヤモンド

    伊藤 利道、八田 章光 (阪大工)、平木 昭夫 (高知工大)

  • SiCパワーデバイスの現状

    上野 勝典 (富士電機総研)

  • ダイヤモンドFETと回路技術の現状

    川原田 洋 (早大理工)

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