開催概要

開催日時

1993年11月01日 - 1993年11月02日

主催

公益社団法人応用物理学会　結晶工学分科会

• 評価の視点

  中山 弘 (神戸大工)

• X線回折法の基礎と新展開

  高橋 敏男 (東大物性研)

• 高分解能電子顕微鏡法の基礎

  角田 直人 (阪大工)

• 結晶評価とパンド構造

  佐籐 勝昭 (東京農工大工)

• フォトルミネッセンス法の基礎と応用

  田島 道夫 (宇宙研)

• 半導体のフォノンとラマン散乱分光法の基礎

  中山 正昭 (大阪市大工)

• 表面顕微鏡技術を用いた結晶成長過程の評価

  市川 昌和 (日立中研)

• 反射法(Surface Photo-Absorption/Reflectance Difference)によるエピタキシー過程のその場観察

  上井 邦彦、小林 直樹 (NTT基礎研)

• 超LSIにおけるCVDプロセスの評価とモデリング

  霜垣 幸浩 (東大工)