開催概要

開催日時

1994年10月31日 - 1994年11月01日

主催

公益社団法人応用物理学会　結晶工学分科会

• 超集積回路の発展と強誘電体メモリの展望

  垂井 康夫 (早大)

• 金属単結晶の成長 —新しい配線技術を目指して—

  坪内 和夫、益 一哉 (東北大)

• ゲッタリング技術

  松下 嘉明 (東芝)

• 次世代ULSIの発展を阻むバリアと期待されるブレークスルー

  渡辺 久恒 (NEC)

• 温度勾配下の点欠陥の拡散 —熱力学による取り扱い—

  土生 隆一 (新日鉄)

• 結晶中の析出及び欠陥の核生成と粒成長

  藤田 英一 (静岡理工科大)

• 界面の量子化学

  中辻 博、波田 雅彦、中井 浩巳 (京大)

• 次世代LSIへの課零題 —G2時代への挑戦—

  高須 新一郎 (SEMI)