公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会

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第13回講習会(1986)

開催日時: 1986年11月06日 - 1986年11月07日

開催テーマ:MOCVDの基礎と実際

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開催概要

開催日時
1986年11月06日 - 1986年11月07日
会場
学習院大学百年記念会館小講堂
  • MOCVDの現状と将来

    福井 孝志 (NTT通研)

  • MOCVD用原料(V族)

    石黒 三郎 (古河鉱業)

  • MOCVDの原理

    佐藤 理夫、鈴木 基之 (東大生研)

  • MOCVD用原料(III族ほか)

    八子 忠明 (住友化学工業)

  • MOCVD装置

    桑麻 和広、林 俊雄 (日本真空技術)

  • 安全対策

    原田 光 (日本酸素)

  • III-V族化合物の薄膜成長

    中西 隆敏 (東芝総研)

  • ワイドギャップII-VI族化合物のMOCVD

    吉川 明彦 (千葉大)

  • 光MOVPEの現状と将来

    青柳 克信 (理化学研)

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