公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会

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第2回シンポジウム(1985.7)

開催日時: 1985年07月19日

開催テーマ:半導体材料のOMVPE

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開催概要

開催日時
1985年07月19日
主催
公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会
  • 減圧MOCVDによる高品質ZnSeの成長

    吉川 明彦、田中 敬二、鬼山 英幸、山賀 重來、葛西 晴雄 (千葉大工)

  • 四重極質量分析計によるGaAs減圧OMVPEのガス分析

    堀口 青史、木村 康三、高岸 成典、香門 浩一、三原 稔、石井 恂 (光共研)

  • 減圧OMVPEによるGaAs, AlGaAsの選択成長

    香門 浩一、高岸 成典、木村 康三、嶋津 充、三原 稔、石井 恂 (光共研)

  • MOCVD GaAsのノンストイキオメトリーとDeep Levelの関係

    藤崎 芳久、高野 幸男、石場 努 (日立中研)、坂口 春典、小野 祐ー (日立電線)

  • 薄膜成長技術としてのMOCVD

    高構 清 (東工大工)

  • MOCVD:ヘテロ成長と極薄膜成長

    森 芳文 (ソニー中研)

  • エチル系MOCVD AlGaAs/GaAs成長および2DEGFET

    高梨 良文、小林 直樹 (武蔵野通研)

  • LP-MOCVD InGaP/GaAsのPL特性

    大場 康夫、山本 基幸、岩本 正巳、中西 隆敏(東芝総研)

  • MOCVD InGaAsP/InP MQW構造の作製

    森崎元司、吉岡芳明※、小倉基次(松下中研・松下テクノリサーチ※)

  • GaInAs/InPヘテロ構造のMOCVD成長

    福井 孝志、斎藤 久夫、山田 省二 (武蔵野通研)

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