第9回結晶工学セミナー(2004) 開催日時： 2004年10月27日 開催テーマ：失敗しない分析技術の選び方 コンテンツを読むためには会員のパスワードが必要です 開催概要 開催日時 2004年10月27日 会場 学習院創立百周年記念会館3F 小講堂 主催 公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会 巻頭言 薄膜結晶成長と分析技術の関わり 藤崎 芳久 (日立中研) TEMによる結晶の欠陥及び構造評価 酒井 朗 (名大・院工) 分析TEMを用いたULSI材料の評価 五十嵐 信行 (NECシステムデバイス研) SIMSを用いた分析評価技術と最近の話題 −SIMSで失敗しないために− 東條 二三代 (松下電器) XRDやXRRを用いた薄膜分析 斎藤 啓介 (ブルカーAXS) RBSによる薄膜分析 木村 健二 (京大・院工) 走査プローブ顕微鏡による薄膜結晶の評価 市川 昌和 (東大・院工) 失敗しない分析技術チュートリアル −半導体レーザとCMOSを例に− 近藤 康洋 (NTTフォトニクス研)、田中 均 (富士通研)
