公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会

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第23回結晶工学セミナー(2018)

開催日時: 2018年12月21日

開催テーマ:ワイドギャップ半導体結晶の評価技術 - 最先端評価技術で明らかになる欠陥の挙動 -

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開催概要

開催日時
2018年12月21日
会場
産総研臨海副都心センター別館
主催
公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会
  • 顕微ラマンによる転位の分類

    小久保 信彦1,2,*、角岡 洋介1,2、藤榮 文博1、大原 淳士1、恩田 正一1、山田 永2、清水 三聡2、原田 俊太1、田川 美穂1、宇治原 徹1,2 (1名古屋大学、 2産総研GAN-OIL、*現・日立)  山田 永  (産総研)

  • 2光子顕微鏡を用いた2PPL法によるGaN結晶の貫通転位の観察手法の紹介

    鶴旨 篤司  (ニコンインステック)

  • 多波回折明視野X線トポグラフィによるGaN結晶中転位の分類

    松井 純爾  (兵庫県立大学)

  • FT-IRによるGaNエピ膜の非破壊評価

    堀切 文正  (サイオクス)

  • 走査型非線形誘電率顕微鏡

    長 康雄  (東北大学)

  • レーザーアトムプローブの開発とその応用

    大久保 忠勝 (NIMS)

  • 走査型プローブ顕微鏡による半導体点欠陥の観察

    鷺坂 恵介  (NIMS)

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