第23回結晶工学セミナー(2018) 開催日時: 2018年12月21日 開催テーマ:ワイドギャップ半導体結晶の評価技術 - 最先端評価技術で明らかになる欠陥の挙動 - コンテンツを読むためには会員のパスワードが必要です 開催概要 開催日時 2018年12月21日 会場 産総研臨海副都心センター別館 主催 公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会 顕微ラマンによる転位の分類 小久保 信彦1,2,*、角岡 洋介1,2、藤榮 文博1、大原 淳士1、恩田 正一1、山田 永2、清水 三聡2、原田 俊太1、田川 美穂1、宇治原 徹1,2 (1名古屋大学、 2産総研GAN-OIL、*現・日立) 山田 永 (産総研) 2光子顕微鏡を用いた2PPL法によるGaN結晶の貫通転位の観察手法の紹介 鶴旨 篤司 (ニコンインステック) 多波回折明視野X線トポグラフィによるGaN結晶中転位の分類 松井 純爾 (兵庫県立大学) FT-IRによるGaNエピ膜の非破壊評価 堀切 文正 (サイオクス) 走査型非線形誘電率顕微鏡 長 康雄 (東北大学) レーザーアトムプローブの開発とその応用 大久保 忠勝 (NIMS) 走査型プローブ顕微鏡による半導体点欠陥の観察 鷺坂 恵介 (NIMS)