第2回結晶工学セミナー(1996) 開催日時： 1996年10月28日 開催テーマ：ULSIのための微小領域評価技術 コンテンツを読むためには会員のパスワードが必要です 開催概要 開催日時 1996年10月28日 会場 学習院大学創立百周年記念会館小講堂 主催 公益社団法人応用物理学会 結晶工学分科会 総論:ULSIにおける微小領域評価の課題 小野 春彦 (NECマイクロエレ研) 赤外レーザーによるSi結晶中の微小欠陥評価 中居 克彦 (新日鐵先端技術研) 微小領域の不純物分析 本間 芳和 (NTT基礎技術総合研)、黒沢 賢、藪本 周邦、鈴木 峰晴（NTT-AT材料開発&分析センタ） TEM/AEMを用いた半導体特定部位の評価 川瀬 昇、大塚 祐二、村田 幸夫 (東レリサーチセンター) 複合顕微鏡SCaM/STM/AFMによる半導体ナノ領域の局所的電気特性評価 八百 隆文 (東北大金研) OBICを用いた配線金属の欠陥評価 福本 晃二、小山 徹、池野 昌彦、小山 浩 (三菱電気ULSI開発研)
