20巻8号(1991年8月) 目次

巻 頭 言
吉田庄一郎
光リソグラフィー
解 説
鳳 紘一郎
中瀬 真
児玉賢一
岡崎信次
村原正隆
研 究
前田英男・大内田 茂・北林淳一・井口敏之
秋葉 敦・村重 仁勇・伊賀健一
山田 誠・佐川 賢・矢口博久・三宅洋一
高瀬正典・内川惠二
長山秀徳・岡本隆之・山口一郎