応用物理学会春季学術講演会2019　シンポジウム及びチュートリアル

第６６回春季学術講演会公式ウェブサイト

応物開催日

2019年3月9日 – 12日

場　所

東京工業大学　大岡山キャンパス

応用物理学会春季学術講演会(2019年3月）において，以下の 分科会企画シンポジウム 及び チュートリアル
が開催されます．

チュートリアル

日　時：2019年3月9日（土）13：30～16：00

会　場：本館 1F（M112）

開催案内：ポスター：講演会ウェブサイト

テーマ：

「電気化学界面・デバイスの局所評価技術の基礎と応用」

講　師：

　前半：大西　洋　（神戸大学）

　後半：高橋　康史（金沢大学）

受講料：社会人・学生（会員・非会員）5000円（税込）：受講申込

世話人：松本祐司（東北大学）、古川貴司（日立ハイテク）、高橋竜太（東京大学）

分科会企画シンポジウム

新デバイス・材料開発のためのナノスケール２次元/３次元分析(II)
(Nanoscale 2D/3D analysesfor new device and materials development II)

日　時：2019年3月10日（日）13:30〜17:45

会　場：西9号館 3F（W933）

座　長：前半：古川貴司（日立ハイテク）、後半：松本祐司（東北大学）

開催案内：ポスター

プログラム

13:30 10p-W933-1
招待講演		 デバイスから見た2D/3Dナノ計測の必要性 〇臼田 宏治1 1.東芝メモリ
14:00 10p-W933-2 周波数変調走査型容量原子間力顕微鏡(FM-SCFM)による有機薄膜トランジスタのキャリアダイナミクス評価 〇横町 伝1,
院南 晧一1,
小林 圭1,
山田 啓文1		 1.京大工
14:15 10p-W933-3
招待講演		 原子間力顕微鏡によるナノスケール表面下構造イメージング 戸野 博史1,
木村 邦子1,
小林 圭1,
〇山田 啓文1		 1.京大院工
14:45 10p-W933-4
招待講演		 超音波原子間力顕微鏡によるナノ領域弾性特性評価法 〇辻 俊宏1 1.東北大
15:15 10p-W933-5
奨励賞		 イオン散乱分光法(CAICISS)を用いたLaAlO3(001)基板の終端面解析 〇李 智蓮1,
Kim Jeong Rae2,3,
Mun Junsik2,4,
Kim Yoonkoo2,4,
Shin Yeong Jae2,3,
Kim Bongju2,3,
Das Saikat2,3,
Wang Lingfei2,3,
Kim Miyoung2,4,
Kim Tae Heon5,
Noh Tae Won2,3,
リップマー ミック1		 1.東大物性研,
2.CCES, IBS,
3.ソウル大物理天文学部,
4.ソウル大新素材研,
5.蔚山大
15:30 休憩/Break
15:45 10p-W933-6
招待講演		 ミラー電子顕微鏡によるSiCウェハ表面微小欠陥検出 〇長谷川 正樹1,
小林 健二1,
兼岡 則幸1,
尾方 智彦1,
大平 健太郎1,
川上 和弘1,
郡司 毅志1,
小貫 勝則1		 1.日立ハイテク
16:15 10p-W933-7
招待講演		 光電子ホログラフィーによる半導体中の不純物の3Ｄ原子イメージング 〇筒井 一生1,
松下 智裕2,
名取 鼓太郞1,
小川 達博1,
室 隆桂之2,
森川 良忠3,
星井 拓也1,
角嶋 邦之1,
若林 整1,
林 好一4,
松井 文彦5,
木下 豊彦2		 1.東工大,
2.高輝度光科学研究センター,
3.阪大,
4.名工大,
5.分子研
16:45 10p-W933-8
招待講演		 硬X線XPSによるオペランド分析 〇山下 良之1 1.物材研
17:15 10p-W933-9
招待講演		 X線によるデバイス構造および格子欠陥の三次元観察 〇表 和彦1,
伊藤 義泰1		 1.リガクX線研究所

 

世話人：高橋竜太（東京大学）、一井　崇（京都大学）、谷口　淳（東京理科大学）、
　　　　蓮沼　隆（筑波大学）松本祐司（東北大学）、古川貴司（日立ハイテク）

更新：2019/2/6