No.188 (2024年9月)
先端集積回路の技術動向 と光機能融合技術
巻頭言
「先端集積回路の技術動向と光機能融合技術 ~ 特集号に寄せて」
名古屋大学 中塚 理
研 究
「最先端ロジックプロセス技術の最新動向」
東京エレクトロン 山本 知成
「ナノスケールトランジスタの課題:キャリア輸送特性と熱物性」
東京大学 内田 建
「フォトニクス応用に向けた IV 族混晶ヘテロ構造の結晶成長技術」
名古屋大学 中塚 理
「シリコンフォトニクスの最新技術動向」
東京大学 竹中 充
談話室
「名古屋大学大学院 工学研究科 電子工学専攻 機能集積デバイス研究室の紹介」
名古屋大学 牧原 克典
開催案内
第 24 回「イオンビームによる表面・界面の解析と改質」特別研究会
第 38 回応用物理学会薄膜・表面物理分科会特別研究会「走査型プローブ顕微鏡」
(The 32nd International Colloquium on Scanning Probe Microscopy; ICSPM32)
第 53 回薄膜・表面物理基礎講座(2024)
「走査プローブ顕微鏡による表面・界面研究:基礎と応用」
開催報告
第 52 回薄膜・表面物理セミナー「先端集積回路の技術動向と光機能融合技術」
議事録
薄膜・表面物理分科会 第 53 期第 1 回常任幹事会議事抄録
薄膜・表面物理分科会 第 53 期第 2 回幹事会議事抄録
会 告
薄膜・表面物理分科会 第 53 期幹事名簿
薄膜・表面物理分科会 会員数・賛助会社名簿
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