No.192 (2025年9月)
デバイス製造における固液界面現象の科学と技術

巻頭言
デバイス製造における固液界面現象の科学と技術 ~特集号に寄せて
研究
「界面化学から見る半導体洗浄技術の過去・現在・未来」
SCREENセミコンダクターソリューションズ 田中孝佳
「シリコンバレーの半導体製造装置メーカーにおける先端デバイス開発の取り組み」
Applied Materials Inc. 北島知彦
「ナノ流体デバイスで明らかにする数nmから数100nmの溶液物性や構造」
早稲田大学 馬渡和馬
「ヘテロダイン検出振動和周波発生分光による水/酸化物界面の観測」
理化学研究所 田原太平
「有機半導体の印刷製膜の現状と課題」
大阪工業大学 藤井彰彦
「溶液処理による遷移金属ダイカルコゲナイドの光学特性変調」
東京大学 桐谷乃輔
談話室
「筑波大学 数理物質系 環境半導体・磁性体研究室の紹介」
筑波大学 都甲 薫
掲示板 開催案内
次世代ULSIデバイスのための誘電体薄膜科学と技術に関する国際ワークショップ International Workshop on Dielectric Thin Films for Future Electron Devices:Science and Technology (IWDTF2025)
第54回薄膜・表面物理基礎講座「自動計測・自律実験とデータ駆動型解析による薄膜表面物理の新展開」
第26回「イオンビームによる表面・界面の解析と改質」特別研究会
第39回特別研究会「走査型プローブ顕微鏡」/The 33rd International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM33)
第31回電子デバイス界面テクノロジー研究会-材料・プロセス・デバイス特性の物理-
掲示板 開催報告
第53回薄膜・表面物理セミナー「デバイス製造における固液界面現象の科学と技術」
議事録
薄膜・表面物理分科会 第54期第1回常任幹事会議事抄録
薄膜・表面物理分科会 第54期第2回幹事会議事抄録
会 告
薄膜・表面物理分科会 第54期幹事名簿
薄膜・表面物理分科会 会員数、賛助会社数・社名
ニュースレター投稿規定