No.133 (2008年9月)
クラスターイオンビーム
巻頭言
幹事長に就任して
本間芳和（東理大）
研究
クラスタボロンビームのSiデバイスへの適用
川崎洋司、北澤雅志、石橋真人、山下朋宏、黒井 隆（ルネサンステクノロジ）
クラスターイオンビーム斜め照射による光学デバイスの高精度加工
鈴木晃子、佐藤明伸（日本航空電子工業）
光電子分光法（XPS）における有機薄膜深さ方向分析へのクラスターイオンビームの展開
飯島善時、境 悠治、平岡賢三（日本電子、JST、山梨大）
最新技術情報
4探針STM装置
保原 麗、長谷川修司（東大）
Brush up English
科学英語一言メモ：
（４） 「ちぐはぐ」にご用心！ -English Tips from Behind the Science
山下理恵（筑波大)